Advanced BSE Detection Capabilities of the TESCAN CLARA UHR-SEM

The BSE (Back Scattered Electron) image contrast differs depending on both the take-off angle and energy of backscattered electrons. This contrast change needs to be visualized as some information may remain hidden when using more conventional BSE detection systems.

The new TESCAN CLARA ultra-high-resolution scanning electron microscope (UHR-SEM), based on TESCAN’s BrightBeamTM technology, enables variable, filtered BSE detection. One of the features of the TESCAN CLARA’s BSE detection system is the electron filtering based on take-off angle which allows users to explore three different contrast mechanisms.

Tescan Clara UHR-SEM配备了标准，有三个BSE探测器：

1. 完全可伸缩的室内检测器收集广角电子。这广泛的BSE信号，显着突出了地形对比度。
2. 在梁轴向检测器中，收集窄角电子。由轴检测器收集的BSE的起飞轨迹当然，靠近SEM柱的光轴，结果提供了无间隙的组成对比。
3. MultiDetector（BSE）收集所谓的“中角”反散射电子。该探测器的独特能力是从室内BSE检测器隐藏的区域现在可见，然而，还保持样品的适度地形对比度。

该应用示例呈现了反向散射电子的角度过滤的益处。

Fig 1.用不同的Tescan Clara BSE探测器收集的金属表面的自然氧化图像。LE BSE（广角），多传输器（中角），轴向（窄角）和颜色编码图像，其中每个角度都由颜色表示。

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TESCAN USA Inc.

1991年由一群经营者和工程师从特斯拉创立，其电子显微镜历史从1950年代开始，今天Tescan是一个全球知名的聚焦离子束工作站，扫描电子显微镜和光学显微镜供应商。Tescan的创新解决方案和与客户的合作性质赢得了纳米和微技术的领先地位。该公司很自豪地参加各种科学领域的突出机构的首要研究项目。Tescan在价值，质量和可靠性方面为其客户提供领先的产品。Tescan USA Inc.是Tescan Orsay Holdings的北美武器，由捷克公司Tescan，SEC和专注离子束工作站的领先供应商，以及法国公司orsay物理，是定制的法国公司的跨国公司聚焦离子束和电子束技术。

This information has been sourced, reviewed and adapted from materials provided by TESCAN.

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