CMP泥浆中大颗粒计数的检测欧洲杯猜球平台

在这次采访中，Mark Bumiller，Technologris的Technology Manager与Azom谈论使用指责员检测CMP浆液中的大粒子计数。欧洲杯猜球平台

请您给我们介绍一下您的公司，您是做什么的?

Entegris开始作为材料公司，已成为纯粹欧洲杯足球竞彩的解决方案的多亿美元供应商，主要是半导体行业。Entegris每年获得粒子尺寸系统，主要对我们的迷你感兴趣，用于监测半导体行业中的大粒子，特别是在CMP区域内。欧洲杯猜球平台

然而，integris Sizing Systems只是一家为半导体行业提供全球解决方案的大公司的一小部分。

过大或结块的颗粒会产生微小划痕，从而对抛光的半导体晶欧洲杯猜球平台圆造成严重破坏。虽然它们相对较小，请您解释一下LCP在CMP浆中的后果?

随着CMP工艺进行表面必须平坦化，因为它必须非常平坦的下一步。由于它被扁平，必须避免任何可能导致表面划痕的任何东西。

例如，如果在平面化时有一块碎片，它可能会导致表面上的宽阔划痕。即使是单个大粒子也可以通过CMP平面化过程并导致小划痕。

尺寸如此之小，即使小划痕也会导致晶片上该区域的缺陷，并且可以是多个芯片。随着各种过程发生，这些晶片变得越来越有价值。沿途的任何小缺陷都对整个晶圆的最终产量具有有害影响，这对工厂的迅速能力至关重要。

指责器是公认的最准确和灵敏的系统检测大颗粒计数(LPC) CMP浆。欧洲杯猜球平台为什么它是首选产品?

随着它们的交付，CMP浆料具有定义的粒度分布。该分布可以非常小，但是通过使用诸如动态光散射或激光衍射的技术可以找到平均尺寸。

产量的担忧与这几种大颗粒有关。欧洲杯猜球平台为了捕获一些大粒子是棘手的，因为它是统计游戏欧洲杯猜球平台。为了定义分布，必须测量大量粒子，并且需要测量的颗粒的数量取决于分布的宽度。欧洲杯猜球平台

如果需要捕获偏远的人口，它变得更加棘手。需要查找许多欧洲杯猜球平台粒子，以确保将捕获任何异常粒子。

这就是为什么指责器是最常用来寻找这些外围粒子的工具。欧洲杯猜球平台使用指责器，只有大的粒子计数将被测量，而不是平均大小。为了发现这些大颗粒的数量，需要将这种非常浓缩的泥浆通过传感器，并测量统计上足够多的颗粒来捕捉大颗粒。欧洲杯猜球平台

为了做到这一点，这种浓缩的浆液需要稀释。我们有各种稀释流体，使我们能够在不改变浆液性质的情况下找到正确的浓度。泥浆在进入传感器之前被仔细稀释，以确保那些大颗粒仍然存在。欧洲杯猜球平台

entegris具有三种不同的传感器，具体取决于要测量的浆料的种类。例如，Le传感器可用于二氧化硅浆料，用于Ceria浆料的FX传感器，或用于用极少数大颗粒的清洁浆料的FX-Nano传感器。欧洲杯猜球平台

已经开发了一系列传感器，这取决于要测量的CMP浆料的种类。它是稀释流体，选择合适的传感器的组合，并了解如何将其包装到可以在线带来的系统中，以便在实验室始终在线交付相同的统计结果。

这个产品与市场上其他产品的区别是什么?

本产品因其对边远地区人群的敏感性而被隔离。由于存在大量的粒子，我们通过统计来确保我们找到了其他技术可能捕捉不到的欧洲杯猜球平台外围粒子。

如果你只观察100个粒子，你不会发现异常值。欧洲杯猜球平台然而，如果你观察20万个粒子，你会发现它们。欧洲杯猜球平台我们的产品是能够提供统计准确性的工具，以确保能够找到可能导致问题的异常值。

如何减少CMP浆中超大颗粒的数量?欧洲杯猜球平台

为了保持较高的产量，我们必须确保这些大颗粒不会进入fab区，我们也想确保它们不会离开CMP交付区。欧洲杯猜球平台方法通常是通过过滤。integris也是CMP输送系统过滤的领先供应商。

我们有一系列的过滤器解决方案，既用于CMP输送系统，也用于使用点。保护的第一步是CMP滤波器，然后最后的保护步骤是使用指责器Mini，如果你超出了你应该在的范围，它可以提醒你。

指控器允许您执行实时和在线粒子分析。哪些应用程序将真正看到这一好处?

一个非常昂贵的工厂已经建成。它的工作是制造尽可能多的晶圆，以获得尽可能多的集成电路。盈利能力的关键之一是产量，随着步骤的进展，任何缺陷都需要最小化，以保持产量的增长。

过滤和归腑迷你允许通过保持大的粒子计数低来保持高的产率，并且产量的最大化是最重要的因素。

我们的读者可以去哪里找到更多信息?

想了解更多，请访问-https://www.entegris.com/shop/en/usd/products/fluid-management/sensing-and-control/particle-characterization/c/particlecharacterization.