当需要评估表面素质和微观几何特征时,有必要具有高分辨率的准确测量解决方案。与其他光学技术相比,常规3D坐标测量技术与经典表面计量设备之间的间隙具有焦点变化。
轮廓投影仪
简介投影仪已经通过电流光学测量系统。然而,它们仍然有助于了解光学测量技术。配置文件投影仪将组件曲面特性的放大图像放在屏幕上,并将此图像与模式匹配进行比较至引用。
可以在几秒钟内进行测量,但几何特征的自动测量将该技术限制为二维测量。配置文件投影仪对对齐也敏感,这意味着测量值可能因对象的方向而有所不同。
结构光
使用结构灯,物体由带有多个明亮和深色条纹的投影机照亮。然后使用至少一个相机来捕获此图像。投影机的条纹图案由样本的形貌扭曲。相机用于记录失真的模式,最后,使用图像处理来计算地形。
在大表面上的测量可以用结构光快速拍摄,因此它通常用于测量非常大的部件(例如,车身)。然而,该技术很少适用于高分辨率子μm深度测量(例如,粗糙度测量)。此外,施加范围基本上受到低深度的限制和对不同表面特性的高灵敏度。
共聚焦系统
共聚焦系统在检测器内的焦点上右侧包含额外的孔径,然后块从焦平面上方和下方阻挡光,这意味着仅焦平面内的光可以通过检测器。
通过检测最强的信号来测量深度。因此,共聚焦测量以高横向分辨率为特征。它们特别适用于测量在硅结构或半导体几何形状上的光滑表面。然而,一个缺点是它们对振动的敏感性。
焦点变化
焦点变化收集表面的深度信息和真实颜色信息。REAL3D技术用于测量不同视角的复杂几何形状。然后将这些组合成完整的3D数据集。焦点变化措施在一个系统中的形式,尺寸,位置和粗糙度,从而缩小通常的3D坐标测量技术和古典地表测量之间的差距。
当使用简单地测量轮廓的配置文件投影仪时,将组件3D表面不同。强度峰值或强度调制仅在系统的焦点与共聚焦系统和干涉仪周围的非常窄的带内测量。由于它在更大的区域上测量清晰度,聚焦变化更容易耐受振动。
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