监控半导体行业的BPSG

由莫尔文Panalytical2019年10月18日

在半导体行业中，监测电介质(如BPSG)的沉积是一个要求很高的分析应用。它既要求测量精度高，又要求精度高。一种已证实的满足这些标准的方法是使用波长色散x射线荧光(WDXRF)。定期分析在100和1250 nm之间的薄膜硼和磷浓度。XRF不仅便于测量这些掺杂剂浓度，而且允许同时测定BPSG薄膜厚度。

本文讨论了该制剂的重现性和长期稳定性Malvern Panalytical 2830 ZT晶片分析仪用于测定BPSG薄膜的硼磷浓度和薄膜厚度。在测定硼浓度时，量规能力是过程容限的函数。

仪表

用aMalvern Panalytical 2830 ZT配备了固定Si Kα和P Kα通道和新一代极端高性能B Kα通道。表1描述了测量条件。

这些信息已经从Malvern Panalytical提供的材料中获得，审查和改编。欧洲杯足球竞彩

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莫尔文Panalytical。(2019年10月28日)。监控半导体行业的BPSG。AZoM。于2021年9月25日从//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=18602检索。
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莫尔文Panalytical》2019。监控半导体行业的BPSG．AZoM, viewed September 21, //www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=18602。