定义台面

与高电子迁移率相结合的InP的性质使其成为制造光电器件的理想半导体。密钥应用程序是通信，这通过增加的数据流量迅速扩展。

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INP使得能够制造能够在高频上运行的组件，允许更高卷的数据。特别是它为激光二极管制造提供了令人信服的优点，以竞争价格提供出色的功能。当设计和制造经过优化的INP激光器提供高光谱纯度和光功率，在宽温度范围内。此外，可实现的1100-2000nm波长范围是光纤通信的最佳选择。因此，建立用于生产INP激光器的成本性处理策略直接支持通信的进步，以支持增加对数据转移的需求。

图1。使用橙色突出显示的等离子体处理方法实现的INP激光器制造的处理步骤

在本白皮书中，我们研究了对INP激光二极管制造中的等离子体处理技术的作用，其专注于INP MESA的电感耦合等离子体反应离子蚀刻（ICP-RIE）的相对优点。主要目的是突出不同流程的相关特征，并展示如何组合地最佳地应用，以有效地制造高性能激光器。

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