解决纳米印迹技术在微纳光学领域的挑战

纳米压印光刻技术[1][2][3]是一种经过验证的生产技术，适用于从创建微透镜[4]到生产垂直腔表面发射激光器(VCSELs)[5]的一系列应用。

在大多数这些应用中，纳米压印是在晶圆规模上执行的。滚子基的纳米压印很早就被建议用于更大的区域[6]。基于滚到滚的纳米压印[7][8][9]经历了几次发展，在使用刚性基材的滚到板NIL的情况下，更没有细化。

为了解决不透明和刚性基材上的大面积纳米压印的局限性，Stensborg目前正在组织和研究一种基于紫外光的卷板纳米压印工具。

它建立在[10]的概念上，包括一个衬底平移台和一个透明滚筒。半透明的印版或邮票可以连接到滚筒上。

紫外线光源在这个滚筒内。uv - led的水冷范围发出的光指向夹头，这是基板和滚轮相遇的位置。

该设备用于管理厚度可达10毫米、尺寸可达30 x 60厘米²的基材。印刷速度可从每分钟1米到每分钟10米不等。

该工具还没有完全完成，因为槽模涂层和喷墨打印设备仍然必须安装，以专门包括大面积涂层能力。2020欧洲杯下注官网

斯坦斯堡已经进行了初步的打印测试。在花岗岩基板上固定一块玻璃板来进行这些研究。在玻璃板上放一个聚合物箔，上面覆盖一层可uv固化的压印材料。

成功地复制了具有大尺寸的特征。图1展示了显微光学测试结构的线扫描，图2展示了测试全息图的线扫描。

图1所示。一种辊板印迹显微光学测试结构的线扫描(轮廓仪)，特征高度约45µm，周期约100µm。图片来源:Stensborg

图2。一种辊印全息测试结构的直线扫描(AFM)，特征高度约350 nm，周期约880 nm。图片来源:Stensborg

这些特征的周期随高度的变化有好几个数量级。图3显示了一个标准的打印全息图结构。在图4中，可以观察到整个uv压印过程中设备的图像，包括印版。

图3。全息图测试图的光学显微图，如图2所示。图片来源:Stensborg

图4。在滚筒上安装印版时压印滚筒的照片。图片来源:Stensborg

由于所评估的材料组合，分离非常简单。箔片不需要安装在玻璃板上，使有效的自动分离后，印。

印版由紫外光固化PDMS或紫外光固化树脂材料制成，同时使用了斯坦斯堡的X29印迹抗蚀剂。在这两种组合中，分离都是即时的，因此箔本身与印版隔离。

Stensborg将发布额外的打印结果，具有更多的微型和纳米级特性，另外还有紫外线固化材料大面积涂层的初始结果。欧洲杯足球竞彩

作者要感谢rollerNIL和paper项目的资助(由奥地利研究促进署FFG资助)。

确认

由L. Yde原创的材料制作欧洲杯足球竞彩¹, l . Lindvold¹, j . Stensborg¹, t . Voglhuber², h .盟ßerhuber²,美国Wogerer², t . Fischinger²先生,但是²哈克(W. Hackl)^3.从Stensborg¹, PROFACTOR GmbH是一家²和Forster Verkehr- und Werbetechnik GmbH^3.．

参考资料及进一步阅读

周世勇，等。
等。中国机械工程，2014,27(02):368 - 372。
[3] Schift, H.， J Vac Sci Technol B26(2008) 458。
[4]例如七边形,http://hptg.com(最后访问4.4.2016)
[5] Verschuuren, M.A，在NNT2011上发表
[6]等。中国机械工程学会b16(1998) 3926。
等。Microel Eng 123 (2014)
[8] Ahn, S.H.， et al.， Advanced 欧洲杯足球竞彩Materials 20(2008) 2044。
John, J.， et al.，纳米技术24(2013)505307。
[10] Lindvold, L.， Stensborg, J.， Rassmussen, T.， EP 1150843 B2。

这些信息已经从斯坦斯堡提供的材料中获取、审查和改编。欧洲杯足球竞彩

有关此来源的更多信息，请访问Stensborg。