硬质涂层的表征。第一部分:DLC涂层

类金刚石涂层(DLC)是当今应用最广泛的涂层之一，可用于提高零部件的机械摩擦磨损性能^1，2．类金刚石碳项包括不同类型的涂层或膜，其结构由非晶碳形成。

dlc的主要类型是

• 无氢类金刚石(通常称为a-C)，
• 四面体无定形碳
• 氢化四面体非晶碳(ta-C:H)。

DLC涂层还包括非晶碳膜，它含有少量的掺杂剂，如金属。DLC涂层通常用物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)沉积，在某些情况下用等离子体增强(PECVD)沉积。虽然有些DLC薄膜可以薄到几十纳米，但DLC薄膜的厚度一般在几微米^3.．

本应用报告总结了使用压痕，划痕，摩擦学和涂层厚度测量的机械性能，附着力和DLC涂层厚度的完整表征。

硬度和弹性模量:压痕

的Anton Paar桌面纳米压痕试验机(TTX-NHT3)用于测试TiN、AlTiN、CrN或DLC等硬薄膜。的TTX-NHT^3.是研究和质量控制DLC薄膜硬度和弹性模量的优良工具。除了硬度和弹性模量外，TTX-NHT^3.还可以计算弹性和塑性功。所有这些结果都是根据ISO 14577标准自动计算的。图1为TTX-NHT在金属基体上沉积2 μm厚DLC涂层后的压痕载荷-压痕深度曲线^3.．

推荐的测试参数:

• TTX-NHT^3.(力范围0.1 ~ 500 mN)
• 一下硬度计压头
• F_马克斯2 mN到100 mN
• 加载速度4 ~ 200 mN/min
• 在F_马克斯: 5 s

NHT中top reference的巨大优势^3.不仅是其优越的热稳定性，而且保护金刚石压头不受损坏。的3月^3.因此非常适合在质量控制或大学课程的常规测量。

图1所示。2 μm厚DLC涂层(最大负载25 mN, Berkovich压头)上典型的压痕曲线。

压痕参数必须根据涂层的厚度、表面粗糙度和硬度进行调整。建议压痕深度不超过涂层厚度的10%(可以使用我们合作伙伴的软件提供更详细的压痕条件分析)。同时，压痕深度应至少高于表面粗糙度(Ra) 20倍以上。在实践中，妥协有时是必要的;更高的数据散点必须由矩阵中更多的自动测量来补偿。

想知道更多吗?点击这里阅读全文。

该信息的来源、审查和改编来自Anton Paar GmbH提供的材料。欧洲杯足球竞彩

欲了解更多信息，请访问安东洼地GmbH是一家．