放牧发病率是一种相对简单的方法，是两个独特但无关的应用程序的理想选择：
- 测量非特定的平面表面，例如未完成的金属或陶瓷
- 测量的平面表面大于干涉仪的测量光圈
放牧发病率干涉测试设置图。图片来源：Zygo Corporation
测量较大的表面
它对于在一个轴中扩展干涉仪的有效孔径很有用。当测量区域与光束的大小相同激光干涉仪的圆形测量光束在正常发生率下反射了测试表面。
使用正常发病率（左）和放牧发生率（右）的相对测量区域。图片来源：Zygo Corporation
然而，当梁以较低角度从测试表面反射从测试表面反射时，测量区域变得椭圆形，可以测量比干涉仪的光圈宽的表面（或更高，取决于方向）。角度越低，测量区域变成越大。
放牧发病率测试设置，测量一个大光学窗口。图片来源：Zygo Corporation
测量非特定表面
在具有低反射率的表面上进行干涉测量值可能是具有挑战性的，因为干涉仪的测量光束被表面散射或吸收，而不是反射回干涉仪。
通过使用放牧发病率干涉法，仍然可以测量此类表面。使用此方法，测量光束以低角度从测试表面反射，并通过高反射性参考平坦反射回干涉仪。
梁从测试表面反射，而不是由于低角度而被其吸收或散射。本文不讨论表面反射率与发射界角度相关的物理学。
它可以被认为与以低角度扔的石头的方式相似，这会从湖面上弹起，而不是立即溅入湖面。
优化放牧角度
最好的角度放牧的发生率设置是要使测试表面尽可能接近正常发生率，但它将取决于测量区域的所需尺寸和表面的反射率。
尽可能接近正常的发病率最小化：
- 由于角度而导致的像素分辨率的丢失
- 测量图像的预要
- 干涉量表因子设置的灵敏度
此信息已从Zygo Corporation提供的材料中采购，审查和改编。欧洲杯足球竞彩
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