随着晶体管带来了信息时代，量子技术有可能成为下一次大跃进。量子技术是量子物理学在现实世界中的应用，如量子计算、传感、导航和通信。在这里，超导单光子探测器（SSPD）和超导量子位是必不可少的构件。SSPD和超导量子位包括各种各样的器件，包括微波谐振器、跃迁边缘传感器（TES）、用于单光子探测器的超导纳米线（SNSPD）、约瑟夫森结和高Q超导谐振器。影响这些量子器件运行的最关键因素之一是所用超导材料的选择和质量。重要的是，所选材料在高临界温度（Tc）下表现出超导行为，以避免低Tc材料所需的额外制冷技术，并使这些器件的量子效率（QE）和量子探测效率最大化。1.此外，隧道势垒（如约瑟夫森结）中使用的材料中的缺陷最小也很重要，因为这些缺陷可能导致量子位的相干性降低。欧洲杯足球竞彩2.
沉积超导体的传统方法包括溅射、脉冲激光沉积（PLD）和化学气相沉积（CVD）。然而，这些方法可能存在缺陷，包括缺乏厚度控制、均匀性差和杂质含量高。原子层沉积（ALD）由于能够制备高纯度、精确厚度控制、高宽高比结构的保形涂层和大面积衬底上的均匀性的薄膜，因此对薄膜沉积更为有利。ALD已成功应用于许多领域，如CMOS工艺、大功率晶体管、太阳能电池等。一个新兴的应用是用于量子应用的器件中的薄膜。图1所示为超导材料已集成到量子纳米光子电路上的示例。图1（a）使用了一条4 nm厚的NbN纳米线，该纳米线在硅衬底上以弯曲模式折叠，并带有160 nm的SiO层2..3.和1（b）包括硅波导，其中检测区域被NbN覆盖。4.其他氮化物（例如锡）也可能是集成在此类电路中的候选材料。在这篇白皮书中，我们通过ALD研究了这种超导氮化物的潜力。
图1。固定角度蚀刻工艺流程。
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本信息来源、审查和改编自牛津仪器等离子技术公司提供的材料。欧洲杯足球竞彩
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