纳米压印光刻如何用于光学应用程序

NanoImprint光刻[1] [2] [3]是一种经过验证的生产技术，可用于多种应用，从产生微透镜[4]用于垂直腔表面发射激光器（VCSELS）[5]。在这些应用的大部分中，在晶片级执行纳米视图。

对于较大的区域，在[6]的情况下推荐了基于滚子的纳米瘤。基于卷的纳米瘤[7] [8] [9]已经受到了许多发展。然而，在使用刚性基板的情况下，在滚动到板上的情况下已经更少细化。

Stensborg创建了基于NIP印记和光固化的滚板纳米视图工具，以解决刚性和不透明基板上大面积高质量纳米修印机的限制。它包括透明圆柱和基板平移级，并在Stensborg获得专利概念[10]。

半透明的压印模板附接到半透明的压印圆柱体，其包含位于可旋转圆筒内的光学发动机。压印辊隙是压印模板和基材材料相遇的地方。当它通过压印的接触区域时，基板材料被印在，其中操作聚焦束线以固化基板上的可固化材料。

滚动板纳米视图工具现在生产和安装，使用板厚的基板厚度高达10毫米，尺寸高达30×60厘米²。印记的速度可以在每分钟1到10米之间调整。喷墨压印设备和槽模具涂层是可以安装的2020欧洲杯下注官网选项，包括大面积的直线涂层能力。

Stensborg已经进行了初始印迹测试，这些调查涉及以下步骤：

• 将底漆玻璃基板固定在基板上
• 将聚合物箔连接到玻璃基板上
• 用槽模涂层施加可光固化的压印材料

成功复制了尺寸范围的特征。微光学测试结构的线扫描如图1所示，并且可以在图2中看到测试全息图的线扫描。

图1。线路（Profilometer）滚板压印的微光学测试结构，特征高约45μm，周期约100μm。图片信用：Stensborg

图2。线路（AFM）的滚板压印全息测试结构，特征高度约350nm，周期约880nm。图片信用：Stensborg

特征的时期以及高度的差异差异很大。图3显示了纳米修印机全息图结构。图4示出了整个纳米修印机的设备的图像，包括压印模板。

图3。对应图2对应的全息图测试模式的光学显微照片。图像信用：Profaktor

图4。在压印时，圆筒的照片与安装在汽缸上的压印板期间。图片信用：Profaktor

由于评估的材料组合，模板印记分离非常有效。

专有的可光固化树脂材料用于产生纳米压印板和X29印迹条目N从Stensborg用于纳米压印。

除了来自可光固化材料的大面积涂层的进一步结果外，Stensborg旨在通过更广泛的微型和纳米级特性发布额外的印记结果。欧洲杯足球竞彩

致谢

由最初由L. YDE撰写的材欧洲杯足球竞彩料生产¹，L. Lindvold.¹，J. Stensborg.¹，T. Voglhuber.²，H.Außerhuber.²，S.Wögerer.²，T. Fischinger²，M.Mühlberger.²和w. hackl^3.来自Stensborg.¹，Profactor GmbH.²和Forster Verkehr- und Werbetechnik GmbH^3.。

参考和进一步阅读

[1]Chou，S.Y.等，J Vac Sci Technol B 14（1996）4129。
[2]Haisma，J.等人。J Vac Sci Technol B 14（1996），4124。
[3]Schift，H.，J Vac Sci Technol B26（2008）458。
[4]eptagon，（访问4.4.2016）
[5] verschuuren，m.a.，在NNT2011呈现
[6]谭，H.等，。J Vac Sci Technol B 16（1998）3926。
[7]Thesen，M.W.等人。Microel Eng 123（2014）121。
[8]Ahn，S.H.等人，先进的材料20（2008）2044欧洲杯足球竞彩。
[9]John，J.等人，纳米技术24（2013）505307。
[10]Lindvold，L.，Stensborg，J.，Rasmussen，T.，EP 1150843 B2。Lindvold，L.，Stensborg，L.YDE，GB1814552。

此信息已采购，从Stensborg提供的材料进行审核和调整。欧洲杯足球竞彩

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