50多年前，第一个商用SEM被揭开。然而，到这一天，没有国际公认的标准确定SEM决议。此外，为了更加混淆，每个SEM制造商都取决于自己的样本和建立分辨率的方法。
两种最流行的方法是:
- 测量相邻物体之间的距离
- 采集的线轮廓的信号强度变化跨越尖锐的边缘
传统上，JEOL应用了一个样本小金颗粒蒸发欧洲杯猜球平台对于这种样品，通过计算两个相邻的金颗粒之间的分离，或者通过检查金颗粒边缘的信号强度变化的线轮廓来建立分辨率。欧洲杯猜球平台
图1所示。碳测试样品上的金的扫描电镜图像。图片来源:JEOL USA, Inc。
这些方法都是主观的。根据个人的解释或每个人如何观察粒子的边缘，决定粒子边缘的构成因人而异。在进行线轮廓技术时，信号过渡的距离被认为与探针直径有关。
JEOL使用常规方案，并在第84和第16百分位(1西格玛值)进行测量。并非所有制造商都是如此，其他厂商也宣布了75 /25和65 /35的百分比值。如表1所示，即使在同一幅图像中，这也会导致较低的分辨率报告值。显然，今天要比较不同厂商之间的分辨率规格并不容易。
表格1。示例显示分辨率从同一边缘轮廓使用三个不同的百分位数来计算光束直径。来源:JEOL USA, Inc。
|
84％ |
75％ |
65％ |
| 光束直径(分辨率) |
1.4 nm. |
1.1 nm. |
0.6纳米 |
额外的复杂层随着现代的数字图像采集附着SEMS.．最终图像像素分辨率影响可以解决的最小特征，这意味着分辨率测量与像素大小紧密相关。关于以100,000次捕获的图像，具有1.28 um的视野：如果图像像素的分辨率为1280×960，则拍摄1nm /像素的像素长度。为了识别探针直径为3nm将需要在仅3个像素中看到的图像信息。然而，捕获具有2560×1920的增强像素密度的相同图像意味着可以在6个像素上看到等效信息。
图2。扫描电镜分辨率的线轮廓法。图片来源:JEOL USA, Inc。
由于不同的显微镜供应商之间的图像采集和有效的测量程序可能有很大的不同，因此在关联和比较分辨率数时记住这一点是至关重要的。如何进行测量以及选择什么样的样品和参数对报告的分辨率有深刻的影响。
这些信息已被源于jeol USA，Inc。提供的材料，审核和调整欧洲杯足球竞彩
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