半导体节点：基于拉曼的计量学

近年来已经在半导体行业革命。涉及晶体管密度和性能性能提高的常见行为（由Moore Lave和Dennard缩放所示）开始遇到基本的身体限制。

图片来源：新星测量仪器有限公司

这场危机已经促使创新的破灭，导致半导体设计的革命性的新方法和操作正在开辟新的方法来提高性能的原则。¹

该转化中的核心因素是利用新材料，新化合物和对材料特性的新方法作为设备设计中的核心考虑。欧洲杯足球竞彩使用和操纵新材料需要适当的稳健的分析和计量技术进行过程控制欧洲杯足球竞彩。

拉曼光谱学是一种普遍的技术，已经被广泛被视为制药和石化行业的高端计量溶液，非常适合定性和定量分析。²

尽管如此，拉曼光谱在半导体行业的应用迄今主要局限于实验室应用。

这种方法的每个关键部件都有了技术进步，例如高端滤波器、超稳定激光源和低噪声探测器。这些进步使这种已有90年历史的方法成为一种有前途的、灵活的计量技术，适用于大容量半导体制造。

拉曼光谱

通过使用拉曼光谱（RS），可以以非破坏性方式确定分子和材料的振动结构。欧洲杯足球竞彩通过测量来自感兴趣的样本的空间散射光的能量来促进分析。

拉曼活跃的材料将展示一个特欧洲杯足球竞彩征的“指纹”，作为其拉曼光谱的一部分。该指纹可用于识别它们，并能够研究其物理性质。不同的分子结构和晶相通常导致完全不同的拉曼光谱，从而能够易于识别和分化。

RS适合于极其多样的材料表征任务，例如，应力/应变测量，残留检测，缺陷，组合物和活化的掺杂水平。

这种技术是不容易然而，用于在线，大批量制造（HVM）适应。RS通常很慢，需定期校准。另外，也容易受到环境条件如温度波动或声学和振动噪声的影响。

一个工具，提供快速，超稳定的，基于RS自校准和全自动化的计量 - 这些问题可以通过使用NOVA ELIPSON™可有效缓解。

NOVA ELIPSON™用于在线拉曼光谱测量

在核心，Nova Elipson™⁴是一种高说明书中，行计量工具。该仪器成功地填补了实验室和工厂计量之间的鸿沟，使拉曼光谱仪适用于大批量生产。

的Nova Elipson™结合了一些独特的设计特点，每个被设计为提供可适于监视宽范围的材料特性的准确，柔性测量能力，所讨论的应用是否涉及R＆d或HVM。⁵

该平台可以容纳从紫外线到可见光的多种激发波长。它还提供连续监测激光功率和输出波长的诊断功能。激光通过高精度光纤站耦合到系统中，这意味着现场维修是快速和直接的。

这种多种波长的组合使得NOVA ELIPSON™能够生成一系列材料属性的z敏感剖面，例如，垂直应变分布、多晶硅结晶度和沿高纵横比几何形状的晶粒尺寸。

在进行拉曼测量时的一个值得注意的挑战是散射信号非常弱。拉曼信号的波长也倾向于特别接近激光激光线，这意味着有效地滤出激光线并防止这种攻击器造成显着的挑战。

Nova Elipson™已经专门设计和构建以解决这些挑战，在每个激发波长的广泛检测范围内提供快速拉曼检测。

该工具也被设计来提供无缝，自动，持续的校准协议，使其能够满足工厂环境的严格的精度要求。

当应用程序需要空间解决的测量（例如当映射局部区域时），Nova Elipson™可以用于具有子微米空间分辨率的拉曼显微镜。可以识别局部属性（例如，存储器单元的单个区域内的局部属性，为过程控制提供有价值的光谱信息。

Fab Material Metrology的未来

流水线式HVM计量解决方案历来专注于尺寸表征。随着制欧洲杯足球竞彩造过程中使用的材料变得越来越多样化和复杂，因此需要对其性能进行更细微的控制，材料计量和过程控制变得越来越普遍。

这种越来越多样化的应用程序已经产生了同样多样化的计量需求。Nova Elipson™是满足这些需求的理想解决方案，提供快速，灵活，无损，全自动的解决方案。

的Nova Elipson™提供一系列经过验证的高端表征功能，适用于各种用途案例。这些用例包括逻辑应用，例如，通过晶体管模块有效地表征应力\应变，主动掺杂，组成，缺陷和材料残留物识别。

记忆市场也具有类似广泛的应用，例如，表征晶相、诱导应变、区分非晶、多晶或晶硅以及确定新兴记忆材料的相。欧洲杯足球竞彩

由于NOVA ELIPSON™那繁殖，进入市场，并成为越来越普遍，其使用情况不断发现和开发。每个用例和新的细分市场进一步扩展RS的工厂计量的潜在适用性。

参考

1. (2018).北京大学学报(自然科学版)，北京大学学报(自然科学版)。通过先进半导体设计和加工技术扩展摩尔定律。CRC出版社。
2. Paudel，A.，Raijada，D.，＆Rantanen，J.（2015）。制药产品设计中的拉曼光谱学。高级药物送餐点评，89,3-20。https://doi.org/10.1016/j.addr.2015.04.003
3. Khatibi, S.， Ostadhassan, M.， & Aghjanpour, A.(2018)。拉曼光谱:一种评价有机物的分析工具。石油天然气学报，2(1)，00007。欧洲杯线上买球https://doi.org/10.30881/jogps.00007
4. Nova Elipson，Nova，（2021），https://www.novami.com/nova-product/nova-elipson/，访问20月2021
5. Schmidt，D.，Cenpler，A.，Oren，Y.，＆Fishman，D。（2021）。用于堆叠纳米片设备制造的在线拉曼光谱。论文卷11611，计量，检查和过程控制用于半导体制造XXXV; 116111T 2021）https://doi.org/10.1117/12.2582181

这些信息已被采购，审查和调整新星测量仪器有限公司提供的材料。欧洲杯足球竞彩

有关此来源的更多信息，请访问诺瓦测量仪器有限公司