等离子体制备多孔硅纳米针的研究

生物医学技术在利用微针进行有效皮肤注射方面处于领先地位。微针由多种材料制成，由垂直排列的微米大小的投影组成。欧洲杯足球竞彩

它们的作用是穿透表皮(最外层皮肤)，并使表皮和第二层皮肤(真皮层)连接起来。

微针技术已被证明可以改善活性物质的透皮传递，如纳米粒子、小极性分子和大分子，否则皮肤就无法渗透。欧洲杯猜球平台

目前，微针存在一些缺点，包括降解失控和载药能力有限。微针的进步，比如能够将尺寸缩小到纳米级，提供了令人难以置信的优势。

特别是纳米针，是一项很有前途的发展。这些微米大小的针头集成了纳米级的特点，减少了侵入性，增加了表面积，并提供无痛的使用。

如何控制皮肤内部的微/纳米针的过度降解率仍然是一个重大挑战。

的发展多孔硅nanoneedlespsinn在治疗多种疾病方面具有优势，主要是由于其生物降解性、可调节的孔隙率和机械强度，可用于非侵入性药物输送。

利用Oxford Plasma 100 deep reactive ion etching (DRIE)仪器制备了长度为40 ~ 50µm，尖端直径小于1µm的纳米针阵列。这些锐化的纳米针投射物能够刺穿皮肤的最外层，使治疗药物得以传递。

制造过程包括UV光刻模式，随后是利用驱动器工具的干蚀刻过程。然后通过电化学阳极化的湿蚀刻过程来定位所得到的纳米针。

光刻技术

采用p型低电阻硅晶片作为起始衬底，完成了垂直阵列的纳米制造。在硅片上涂上正性光刻胶(AZ^®4562)，然后在110℃下烘烤基材。

利用一个铬掩模，通过紫外线照射将定义的图案转移到衬底上。该工艺的最后一步是将光敏涂层基材浸入AZ中^®400 k开发解决方案。

这导致了暴露的抗蚀剂被去除，从而完成了纳米针的光刻成型过程。

驱动过程

含有光刻胶图案的圆的硅晶片是利用一种牛津Plasmalab 100 drive．这是通过执行博世过程，然后在RIE基础上的标准干蚀刻完成的。

纳米针阵列的制作过程分为三个步骤:

• 利用各向同性六氟化硫(SF₆)步骤创建一个尖锐的尖端
• 在各向异性蚀刻中执行博世工艺步骤以获得圆柱柱
• 用八氟环丁烷(C₄F₈)和科幻小说₆气体提供尖锐的尖端，以加强皮肤渗透

在科幻小说₆步骤中，利用各向同性SF创建了纳米针阵列的尖端₆蚀刻过程与控制时间，从而SF的流量₆调整气体，并保持射频功率和ICP发生器功率。

图片来源:牛津仪器等离子体技术公司

图片来源:牛津仪器等离子体技术公司

博世蚀刻工艺利用SF₆在蚀刻周期和C₄F₈钝化循环中的气体。C的流速₄F₈和科幻小说₆在两个周期中都进行了调整。

氦气压力利用APC阀门位置和表温度值参数化，而硅刻蚀所需深度通过刻蚀和钝化循环成比例地实现。

随后用异丙醇、丙酮和水通过超声浴去除纳米针阵列尖端的光刻胶。每种溶剂的这个过程大约需要1分钟。

利用电化学腐蚀硅纳米针实现了多孔化。含纳米针阵列的硅晶片分别在由氢氟酸(48%)和乙醇组成的体积比为3:1的溶液中进行电化学蚀刻。

在恒定电流密度下蚀刻一段时间，得到的pSi层厚度为1.6µm，孔的直径为4-11 nm。

的牛津Plasmalab 100 drive仪器允许生产具有有效透皮渗透水平所需形状的psinn，以便将生物活性制剂传递到深层皮肤层。

DRIE工具还有助于刻蚀纳米棒、孔阵列和光栅设计，用于其他传感器相关产品。

致谢

由来自莫纳什大学的Nazia欧洲杯足球竞彩 Tabassum最初撰写的材料制作。

该信息来源于牛津仪器等离子体技术公司提供的材料。欧洲杯足球竞彩

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