STEM-IN-SEM:扫描SEM中的透射电子显微镜

智能-强大-灵活

最近几年,干式(SEM中的扫描透射电子显微镜的行业首字母缩略词)在许多专家的普及中增加了普及。这种技术引起了各种科学专业人才的关注,包括生物学家,聚合物科学家和材料科学家,因为它的成本效益,易用性和高分辨率。欧洲杯足球竞彩

STEM-in-SEM特别适合于研究薄膜(100-200 nm)样品的内部结构,以及亚微米到纳米颗粒的形状和尺寸。欧洲杯猜球平台在一定程度上,由于束-样品相互作用,使用标准SEM成像模式获得的批量样品的最终分辨率存在局限性。

样品非常薄,并且晶体晶体积特别小。因此,这意味着该分辨率更接近样品的出口表面处的电子束的直径,因此允许高分辨率;通过使用茎与Jeol的艺术品Fe SEMS的状态容易实现亚纳米分辨率。

具有7.4晶格间距的FAUJASITE沸石的SEM-IN-SEM图像。

具有7.4晶格间距的FAUJASITE沸石的SEM-IN-SEM图像。图片信用:JEOL USA,Inc。

通常,STEM-in- sem的方法被称为“低压STEM”技术。术语“低电压”的使用是指20-30千伏的典型运行能量,这是在SEM中使用的,相对于传统的100-300千伏使用传统的专用STEM或TEM。

低压STEM有其优势,尽管它不可否认不能与专用的STEM或TEM的结果相竞争。特别是对于低原子数组分或低密度样品,使用30 kV或更低的加速电压可以增强图像对比度。这种在较低电压下增强的图像对比度意味着干式是表征生物样品的理想方法。

STEM-in-SEM的一些替代优势包括降低潜在的样品损坏风险、减少充电和减少污染。

传统上,有两种配置用于干式扫描型方法:其中第一是阀杆转换器和第二专用杆检测器。阀杆转换器提供了一种简单且经济高效的方法,用于获得亮场阀杆图像;它适合SEM,就像标准样品架一样,不需要额外的探测器或硬件。

阀杆转换器通过其具有孔,并保持3mm直径的样品(大约是TEM /阀杆支架的典型尺寸)。通过光束扫描样品,并且透射电子传递到样品下方的抛光镜面。然后将这些电子转换成二次电子,它们本身由内部二次电子检测器检测到。

STEM-IN-SEM:扫描SEM中的透射电子显微镜

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它易于使用SEM的阀杆探测器界面,然后可以使用与常规SEM操作相同的光学系统监测安装在网格上的超薄部分或纳米范围粒子。欧洲杯猜球平台专用的促进了更多的灵活性茎探测器,例如明场和暗场STEM成像或利用多网格支架以获得更高的吞吐量。

图片信用:JEOL USA,Inc。

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    JEOL美国公司. .(2021年,08年6月)。扫描电子显微镜:扫描透射电子显微镜。AZoM。2021年6月29日从//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=20479获取。

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  • 芝加哥

    JEOL USA,INC。“SEME-IN-SEM:扫描SEM中的透射电子显微镜”。AZoM。//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=20479。(访问2021年6月29日)。

  • 哈佛大学

    JEOL美国公司. .2021.STEM-IN-SEM:扫描SEM中的透射电子显微镜。Azom,于2021年6月29日浏览,//www.wireless-io.com/article.aspx?articled=20479。

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