在这次采访中，TMC的产品经理Wes Wigglesworth向AZoM讲述了使用安静的岛屿而不是安静的建筑的好处。
纳米制造、半导体制造(FABs)和研究设施通常将洁净室与高架假地板系统或高架通道地板(RAF)结合在一起——您能告诉我们使用这些地板的一些主要优势和挑战吗?
RAFs在很多方面都非常常见，尤其是在管理洁净室的气流以及允许公用设施和人员分离方面。这些地板的设计是为了支持典型的步行交通和一些轻量级的仪器和工作站。然而，架空地板的设计不是为了支持安装在这些设施中的重型和/或振动敏感的工具。RAF设计的一个很好的特点是，瓦片可以移除，并用特定工具的支撑底座替换。
什么是安静的岛屿®为什么这种创新方法在此类设施中如此有效?
安静岛本质上是一个基座，一个岛，取代了凸起的入口地板，设计用于支持敏感仪器或制造工具，如透射电子显微镜或半导体缺陷检测工具。其目的是将仪器与周围环境和相对嘈杂的环境隔离。
一个安静的岛
图像来源:TMC振动控制
“安静岛”由一个阻尼良好的钢层压平台顶部、典型的主动隔振支柱、与RAF高度匹配的钢立管、桥板和其他硬件组成，以确保系统正确地固定在RAF所在的混凝土“华夫”地板上。当规划安装任何大型、重型和/或振动敏感仪器(任何在安装要求中有振动规范的仪器)时，设施经理应考虑在安静岛安装。与staci®在美国，Quiet Island为仪器提供了一个新的地板，以满足该工具的振动要求。
与其他方法相比，使用安静岛有哪些优势?
易于安装和调优、交付和拥有成本低、环境影响大、能够根据工具的足迹自定义、模块化、与周围环境和支持的工具本身的兼容性，特别是与STACIS结合使用时，在1-4Hz范围内积极衰减建筑物地板振动的能力;考虑到所有这些因素，没有其他单一的替代方法能与之媲美。此外，围绕安静岛的方法规划设施设计比设计一个安静的建筑更划算，即整个设施的振动水平极低。对于需要安装在低振动地板上的工具，Quiet Island是一种特殊的工具支撑。
你可否详细说明使用静岛而非静楼的好处?
成本和灵活性。FABs和大多数大型研究设施拥有数百甚至数千台仪器，具有不同程度的灵敏度和环境要求。例如，许多缺陷检测工具和ebeam光刻工具需要VC-E (3.12um/s RMS)振动环境，甚至更低。即使要测量如此低的振动，也需要先进的传感器和高分辨率频谱分析仪。由于许多仪器对振动不敏感，或者要求不那么严格，根据最敏感工具的需求来设计整个设备是没有意义的——这可能会非常昂贵，对环境的影响也非常大。特别是当安静岛解决方案在使用点可用时，换句话说，只用于需要它的工具。只要一瓶冰啤酒干嘛要把整个房子都冻起来?
这些基座可以设计成适合工具的占地面积，而不占用宝贵的额外空间，可以安装在原来没有规划用于精密仪器的空间，如果仪器被移动或更换，可以重复使用或重新使用。我需要补充的是，我们经常听到在建筑中工作的人说，最初的设计是为了满足低振动的规格，但后来随着设施的成熟，额外的机械设备增加，以及由于汽车、火车等交通的增加，建筑外的活动增加了。虽然仍然可以安装使用点解决方案，但这种反应式方法比提前规划更具破坏性，成本也更高，特别是对于繁忙、人口密集的设施中的高使用率仪器。
你能介绍一下静岛采用的支撑元件和核心技术——“STACIS III主动振动消除系统”吗?
STACIS在我们的行业是独一无二的。STACIS的核心是一个主动反馈控制回路，由测量地板振动的非常低频传感器、复杂的信号处理器和压电驱动器组成，压电驱动器被驱动对这个信号作出响应，用相等和相反的力来消除实时的地板振动。压电装置通常用于精密纳米定位系统，它能根据施加的电压成比例地伸缩。STACIS使用相同的设备来消除低频、低振幅的建筑物振动。
对于非常短的架空地板，如何使用STACIS IIIc隔离器来代替?
大多数RAFs是18英寸、24英寸甚至更高。紧凑的STACIS IIIc非常方便，当设施的活动地板小于15“高。
在开发《Quiet Island》的过程中，你遇到了哪些挑战?你是如何克服这些挑战的?
STACIS最初是25年前开发的。在一个紧凑且易于安装的组件中测量和消除低频、低振幅振动非常具有挑战性。优化宽带响应上的增益，同时保持稳定的控制信号可能是最具挑战性的方面。这是我们很久以前就发现的东西，在成千上万个装置之前。
安静岛在可持续发展方面有什么帮助?
我们听到越来越多关于碳足迹、绿色建筑和可持续发展的说法。宁静岛的另一种选择是混凝土基座和大型混凝土板和基座。此外，在设计安静的建筑时，振动的微小改善需要增加混凝土和钢材的用量。“安静岛-非安静建筑”的方法最终使用了不可估量的混凝土，这是温室气体的重要贡献者，约占我们环境中排放的所有二氧化碳的8%。
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关于韦斯·维格斯沃斯
Wes Wigglesworth自1997年以来一直任职于TMC，目前是TMC主动振动和噪声消除系统旗舰系列的产品经理，包括STACIS, STACIS iX, magnet - netx和新的Everstill。
他曾在科技行业担任应用工程、销售工程和OEM客户管理的职位超过24年。
他持有塔夫斯大学(Tufts University)的电气工程学士学位。
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