桌面SEM中非导电样品的分析

近年来,电子显微镜市场增长最快的部分是台式SEMS。随着这些工具继续获得广泛的接受,通常需要用户对非导电样品进行图像。

成像非导电样品可能具有挑战性,因为这些样品受到称为电荷电气化的现象或简单的充电现象。电荷电化现象是由于电子束照射时样品上负电荷的积累而导致的。如果样品是非导电性(或导电性不佳),则这些电荷会导致图像失真和对比度不规则。

为了防止样品充电,可以使用几种方法。最常见的方法是用薄导电膜(通常是碳或金属)涂上样品。尽管此方法改善了成像,但它还改变了样品表面上的化学成分。此外,用户必须考虑涂层厚度和粒径,以确保结果令人满意。最后,某些样品无法更改或掺假,必须以其自然状态进行成像。对于这些类型的样品,我们可以尝试以较低的加速电压对它们进行成像,以最大程度地减少充电效果。虽然此方法在FE-SEM中可以有效,但在典型的Tungsten SEM中效果不佳

解决此问题的另一种解决方案是使用低真空模式(LV模式)。LV模式使您只需在几乎任何环境中就没有预处理或涂层即可获得图像。LV模式通过将样品室处于低空状态来起作用,同时将色谱柱和电子源保持在高真空状态。腔室中空气与入射和反射电子之间的相互作用导致正离子的产生,改变样品的电荷平衡并中和样品表面积累的负电荷。

HV模式下的头发图像(左) / LV模式下的头发图像(右)

图1。HV模式下的头发图像(左) / LV模式下的头发图像(右)。图片来源:Coxem Co. Ltd.

在HV模式(左) /屏蔽图的图像(右)的图像(右)

图2。在HV模式(左) / LV模式下的掩码图像(右)的图像(右)。图片来源:Coxem Co. Ltd.

HV模式下的纸张图像(左) / LV模式下的纸张图像(右)

图3。在HV模式下(左) /纸张图像在LV模式(右)的图像。图片来源:Coxem Co. Ltd.

HV模式下的胶原支架的图像(左) /胶原支架的图像在LV模式下(右)

图4。HV模式下的胶原支架的图像(左) /胶原支架的图像在LV模式(右)。图片来源:Coxem Co. Ltd.

上图显示了从EM-30N上的HV模式和LV模式获得的图像的比较。在同一样品中,在HV模式下,由于电荷电气化现象,图像似乎会扭曲,而在LV模式下,图像是干净且独特的。特别是,在具有复杂结构的纤维样品的情况下,可能会发生部分电荷电气化,因为涂层在远离表面的区域较差且不均匀。通过使用LV模式,无论样品的结构如何,您都可以获得干净的图像。

Coxem的台式SEM(EM-30N)提供了HV或LV模式的选择。通过从GUI中选择LV模式,该模式将自动更改,您可以在无涂层或使用特殊样品持有人的情况下获取非导电样品的图像。此外,Coxem已经开发了可变压力(VP)模式,因此用户可以确定每个样品的最佳真空度。这使您可以灵活地获取各种非导电样品的图像,例如生物材料,潮湿或脏样品,以及由于高真空的影响而无法以其自然状态成像的任何样品。欧洲杯足球竞彩VP模式也将在Coxem的最新台面线EM-50中提供。

随着添加低真空和可变压力模式,Coxem能够将其台式系统的应用扩展到到目前为止由相对昂贵且相对复杂的全尺寸SEM提供的区域。有关Coxem表TOP SEM的完整线(包括可变压力系统)的更多信息,请联系您当地的Coxem代表。

此信息已从Coxem Co. Ltd提供的材料中采购,审查和改编。欧洲杯足球竞彩

有关此消息来源的更多信息,请访问Coxem Co. Ltd.

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    Coxem Co. Ltd .. 2022。桌面SEM中非导电样品的分析。Azom,2022年5月12日,https://www.wireless-io.com/article.aspx?articleId=21221。

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