等离子体的基本视觉调查可以提供大量的实用的诊断数据。
理解的视觉特征等离子体还可以帮助识别早期的挑战才成为一个问题。本文将概述的一些关键要素影响等离子体的外观:(i),(2)压力,(iii)过程气体和(iv)泵曲线。
权力
主要功率对等离子体的影响的外观是一个固有的;较高的发光强度是由更高的权力。
图片来源:Henniker等离子体
数字1 - 4上述每个演示基本空气等离子体过程利用Henniker hpt - 200台式系统。在每个例子中,相同的压力被用来维持等离子体和权力从25%上升到100%,增量的25%。
更高的权力通常选择鼓励附着力,提高润湿性(等离子体表面活化)或删除的碳氢化合物(等离子体清洗)。
这并不适用于所有情况。作为一个例子,优越的结果发现在低权力当结合PDMS为玻璃微流控设备的生产。
短暂的观察等离子体的亮度通常足以理解权力的程度,然后可以设置输出功率相比。
压力
一个出乎意料的处理过程中压力的变化可以从样本表明高气体负载存在(称为脱气)。
它可以另外提出一个潜在的污染来源,真空压力表缺陷或链接。这些不可预知的事件有可能降低等离子治疗的有效性。
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数据显示5 - 8以上证明影响空气等离子体的外观,压力增加。
等离子体扩散,满室的空间在0.2 mbar如图5所示。在图8中变得更受限制的表面和边缘附近的墙壁和电极。
作为一个例子,如果一个特定的流程已经完成,但外观修改描述,这将表明高压,然后观察和可以作出最终结论如下:
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过程气体
等离子体也被称为辉光放电。发光是由能量生成物种内的等离子体发射光子能量的表达式。
等离子体的颜色是由特定波长的光子。各种气体和气体混合物创建特定颜色特征的气体(例如,在红色的霓虹灯)。
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9 - 12上述数据显示等离子体,产生各种气体,包括空气、氢、氧和氩(100%力量和0.4 mbar)。
空气产生强烈的粉红色或紫色,氢是粉红色或红色,氧气是微弱的白色或灰色的颜色,和氩创建了一个紫色的颜色。
这可以说明的实际应用如图10所示的示例中,这档节目的特点就是一个氧气的过程。如图12所示,如果等离子体的颜色是带有紫色或粉红色,那么很可能一些空气也存在于室。
这可能是由于样品脱气、室泄漏,或者开始泵停机时间不够长,消除足够多的室前的残余空气充满了氧气。
颜色改变的等离子体也可以造成大量的表面污染的样本。
随着污染消除从表面进入气相,它可以与其他种类的混合气体来创建不同的分子,每一种都可以生成一个特定波长的光。
有昂贵和复杂的分析设备量化和测量气相中的特定组件,但短暂的观察也能提供很多信息。2020欧洲杯下注官网
泵下曲线
一个相关的诊断测试,有利于解释和监控系统性能,是一种泵送压力与时间序列的观测,可以记录下来。
一个泵送曲线通常是用来记录的时间疏散低压室。如果这是经常进行的,那么它可以用来表示一个系统是否正常,或者有一个潜在的问题。
“标准”泵曲线5升状卷hpt - 200室见下面的图(i)的情节。相同的图表描述了泵下曲线的例子小漏,和样品脱气。
图(我),泵曲线hpt - 200。图片来源:Henniker等离子体
在这个例子中,泄漏的起源在上面的数据是故意由将一缕头发在真空室的门密封,这可能只是固定的通过与异丙醇擦拭它,不起毛的布,用目视检查。
虽然挑战单独使用泵送曲线识别性能问题,有经验的和一致的监控,用户可以解释和识别许多挑战,轻松简单的修复。
读这篇文章的如何选择合适的真空泵的更详细的讨论和信息泵曲线”。
总结
最后,视觉检测等离子体本身和获得熟悉系统的性能可以提供大量的诊断数据。
图片来源:Henniker等离子体
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补充信息
介绍先进的等离子体诊断
几项先进的设备可以利用等离子体综合调查。2020欧洲杯下注官网感兴趣的读者,其中一些在下面会详细进行介绍。
图1所示。朗缪尔探针电流电压特性。图片来源:Henniker等离子体
朗缪尔探针是小金属线,是推入等离子体。探测器或线,是固定的电压和电流的来源是量化的电压扫描从消极到积极的价值观。
如图1所示,电流电压曲线产生可以评价提供定量测量的电子和离子密度,电子能量分布函数和电子温度。
图2。汤姆逊散射光谱实验测量。图片来源:Henniker等离子体
汤姆逊散射是光散射从利用高功率激光等离子体中带电粒子。欧洲杯猜球平台散射光的波长取决于粒子的速度和,因此,能量。
图2提供了一个量化的例子从汤姆逊散射光谱研究。电子温度是由频谱的宽度,和带电粒子数密度可以破译它的面积。
图3。典型的氩等离子体从300 - 900 nm波长扫描。图片来源:Henniker等离子体
光学发射光谱学是一个分析方法的波长的光产生的等离子体是建立监控组件的物种。
图3展示了一个标准的氩等离子体从300 - 900 nm波长扫描,不同的原子或分子转换在等离子体可以被识别的峰值波长。
上面的提供了一个简短的和实用的概述分析技术用来测量和诊断等离子体,还有许多其他可用的技术。
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