振动可以产生许多重大挑战进行移相时激光干涉仪测量。今天的先进的干涉仪有能力nanometer-levels的测量精度。
相反,这使他们容易受到错误如果部署在一个高度动态制造环境噪音水平很高,导致大量的振动。
为什么振动问题
测量在播放环境通常礼物边缘印透错误——这可能导致错误的数据或一个行不通的信号采集。
有解决方案,试图减轻有害的环境中为了减轻不良影响的效果。例如,设施可能有时进行整修,以保证“计量”级的环境。
另一种技术用于规避负面影响是大量重复测量在一段时间内,发现平均水平。然而,这种方法可以耗时,效果有限。
QPSI技术使可靠的数据在严酷的环境下
高能激光源可能形成一个减振方案的一部分,因为他们提供足够的电力快门相机快有额外的光。这需要更少的时间,导致更快的数据采集和减少对振动敏感。
近年来,ZYGO一直致力于消除振动的负面影响,这导致了收购技术解决方案的出现,可以部署在恶劣生产环境。
进一步提供专有的大功率HeNe激光干涉仪,ZYGO QPSI和FT-QPSI解决方案设计。
QPSI收购是一种基于模型的方法,考虑了刚体振动和横向分辨率的前提下尽可能提高振动宽容。它使用相同的装配作为传统的移相干涉测量(PSI)的收购。
QPSI技术超越了噪音和波纹复印效应阶段数据引起的振动小,提供了可靠的数据,否则会受到噪声的影响与传统PSI收购。
QPSI测量不需要深奥的安装或校准,周期一般是一样的传统PSI测量。当振动存在由于生产设备,QPSI便利可靠的高精度测量。2020欧洲杯下注官网
QPSI收购,不过,只兼容两个表面蛀牙,这意味着一个干涉图样。
解决这个,ZYGO最近发达FT-QPSI收购MST干涉仪,测量模式,有能力同时进行前后表面的测量,以及同步测量光学厚度变化和均匀性测量。
总结
由于的确切性质干涉测量法环境振动,即使是最小的数量可以是一个弱点,导致扭曲的测量。
随着干涉正变得越来越流行,连同其他高度精确计量解决方案,现在部署进程内和生产地板上;因此,振动仍将工程师和质量经理的核心问题。
这些信息已经采购,审核并改编自Zygo公司提供的材料。欧洲杯足球竞彩
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