与其最过程和准确性过程的知识组合,CSEM一直是厘米级硅部件的设计和生产的先驱和机械特性,包括弯曲(FlexMEMS),创建新的可能性的小说和开创性的观察方法的设计和生产。
全新的发展,高性能的重点是看振荡器和摆轮CSEM SILOSCAPE工作。今年,CSEM显示一个全新的恒力擒纵使用FlexMEMS设计方法。
组成部分,任何观察机制的核心,卡子和振荡器,著名的是小,脆弱,极其准确地加工。
的使用硅作为基础材料机械表部分的设计和制造是由CSEM开创20的末尾th世纪。利用硅微细加工方法,1CSEM设计和生产非常准确和热补偿硅手表游丝,振荡器的最重要组成部分。
从那时起,CSEM继续发挥领导作用通过扩大硅微机械结构的边界2创造和提升其技能和独特的手表制造机制基于这一策略。3、4
FlexMEMS方法
CSEM开发了一种新方法的设计和生产相结合的新型高端振荡器和摆轮的好处所提供的准确micro-structuration硅与挠曲轴承,建筑在其综合背景和知识精度的设计方法由弯曲叶片代替经典轴承。
润滑时禁止由于环境(如真空、空间)或由于污染限制,所谓“FlexMEMS法”尤其有帮助(好光学)。
与Vaucher制造百合花纹的密切合作在过去的15年里,CSEM建议大量机械表振荡器的新设计5和合并第一FlexMEMS Genequand式擒纵机构6和首次flexure-based看调节器(式擒纵机构+振荡器)的观察。
从那时起,CSEM提出Siloscape式擒纵机构,7一个革命性FlexMEMS式擒纵机构的功率储备三倍精度比传统的和经典的性能。它是由设计自动起动,所以重大意外冲击不能阻止它。
双锤式擒纵机构
最新的FlexMEMS-based式擒纵机构创建并由CSEM是所谓的双锤式擒纵机构(图1和图2)。这个前沿式擒纵机构是一个恒力擒纵目标极其准确的计时(通常是+ / 2 s / d)与常规电力储备。
两个硅部分称为“锤子”上旋转弯曲叶片先后(在每个alternance)武装的擒纵轮,在规定的旋转角。确保可能的能量存储在他们的弯曲是足以支持振荡Wittrick-type FlexMEMS振荡器,它存储一定数量的能量在曲主之前释放他们。
振荡器将获得相同的脉冲能量在每个交替,因为在操作的范围,未来的能源存储在锤子是稳定和擒纵轮的扭矩可以分开。维护振荡器的振幅尽可能恒定在操作将提高手表的精度保持时间。
图1所示。主要组成部分“双锤”。图片来源:CSEM(瑞士电子制造技术中心)
振荡器,硅wafer-level组装,一部分作为一个整体的等价物是传统的锚冲动托盘直接集成。振荡器是手动从第二个单片硅片放在一起,包括两个锤子和可选flex-guided挂钩。
干扰是减少使用flex-guided钩防止锤接触振荡器在休息阶段。高功率储备和计时输出是两个CSEM补充市场部门目标与“双锤”和Siloscape摆轮。
图2。“双锤”式擒纵机构整合在一个手表。图片来源:CSEM(瑞士电子制造技术中心)
引用和进一步阅读
- a . Perret“Le硅像materiau在制造德机械”,SSC, 2001年。
- o . Dubochet et al .,”杜L 'hybridation硅”,SSC, 2015年。
- m . Despont et al .,硅制造的“井字,SSC, 2019。
- g . Musy et al .,”de micro-fabrication et de l 'aerospatiale au莱斯技术服务de l 'innovation horlogere”, SSC 2021。
- f·巴罗特,et al .,“基于挠曲的振荡器机械手表CSEM科学和技术报告(2018)19。
- f·巴罗特,et al .,“联合国新regulateur mecanique倒一个储备de马尔凯exceptionnelle”, SSC, 2014年。
- f·巴罗特,et al .,“一种新型硅基主办的观察式擒纵机构”,CSEM科学和技术报告(2019)20。
这些信息已经采购,审核并改编自CSEM提供的材料。欧洲杯足球竞彩
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