什么是模块化的光学计量?

SurfaceSens技术是由形状因子的FRT计量工程师提供优越的信息关于产品质量的测量样本和更广泛的解释。

形状因子提供了选项结合互补的传感器技术与任何的FRT MicroProf^®计量仪器。以前不可用晶圆的表面数据或其他样品表面是精确地量化混合动力分析过程。

用户可以选择不同的计量和检验测量概念使用SurfaceSens达到最大的多功能性。

即使对顶部和底部样品测量,不同的设置光学传感器,如点、线和传感器的视场,使灵活的结果对于一些表面参数,包括地形、粗糙度,台视弓和扭曲,平坦,共面,样品层厚度,和许多其他人。

改造传感器为未来创造更多的适应性选择测量操作,如交换和个体样本容器。与FRT MicroProf + SurfaceSens,用户可以迅速、有效、可靠地完成测量任务。

图片来源:形状系数。

角度传感器

• 在大部分地区
• 非常灵活的
• 任何扫描范围

视野传感器

• 大面积通过缝合
• 最高分辨率
• 在小范围

膜厚度传感器

• 多层多层
• 优越的决议
• 大的测量范围

原子力显微镜

• 简单的处理
• 纳米分辨率
• 大的扫描区域

角度传感器

CWL迅速光学点传感器,以彩色测距原理经营。CWL的非破坏性的方法可以有效地使用在高和低反射表面。

SLS,快速的光学传感器,是最好的选择对于应用程序来说,它需要很高的测量速度。它作用于相同的彩色CWL测距原理。这个传感器捕获192测量均匀分布的地方沿着一条线,而不是只有一个。因此,样本可以被扫描的一小部分时间点要求的传感器。

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共焦显微镜

共焦显微镜(CFM)测量原理的非接触式测量技术的快速和精确的3 d测量显微结构。提供有意义的发现在几秒钟内由于成立共焦测量方法。

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白光干涉仪

传感器,光学三维表面白光干涉仪(WLI)基于白光干涉的方法。事实上具有良好的高分辨率的范围和快速而著名,平坦的地形数据。

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厚度传感器

光学膜厚度传感器采用干涉或reflectometric方法确定膜厚度无损在几毫米的范围在一个纳米。透明的薄膜的厚度和层堆栈可以测量使用薄膜传感器功能处理量。

幽灵似地解决反射测量和先进的评估软件的基础功能处理量薄膜传感器。FRT使厚度测量和红外热成像材料对可见光不透明的但对红外辐射透明。欧洲杯足球竞彩

红外热成像是一个特别设计的干涉膜厚度传感器使用一个红外光源测量材料的厚度对近红外光是透明的。欧洲杯足球竞彩

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原子力显微镜

一个原子力显微镜(AFM)可以集成光学传感器的高空间分辨率是不够的。使用AFM Sub-nm分辨率地形测量是可能的。形状因子还提供了一个可以安装在光学显微镜AFM像普通物镜增加仪器的分辨率和测量能力。

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