红外照明、接近传感器、高分辨率的视频显示,原子钟,和面部识别技术的创新使用的只是一些垂直腔表面发射激光器,或VCSELs。
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激光产品的大批量生产成为可能
VCSELs通常是有利的因其成本低、占用空间小,光学效率。他们也有波长稳定温度的好处。此外,而不是安装光学元素分别为每个VCSEL,债券是可能的VCSEL晶片与各种光学组件分离保税晶片之前。
因此,一个潜在的低成本大规模生产的激光产品。VCSELs添加被测试的能力和特点在晶片的分离之前,这是一个重大优势边缘发射半导体激光器。因此,在早期质量问题可以被识别。
它实际上是VCSEL-What ?
VCSELs是半导体激光器其中发射光出现垂直于芯片表面。利用分子束外延(MBE)或有机化学汽相淀积(金属),一个复杂的多层结构应用于创建一个VCSEL的衬底。
光子产生的活性层外延层被两个布拉格反射镜(DBRs)。增加放大,光线反射来回多次通过活跃的表面使用镜子的布拉格反射镜。
用砷化镓/ AlGaAs材料组合,VCSELs通常0.5和5 mW之间提供输出大国,最常见的发射波长下降在750到980纳米之间。
相当高的权力可以产生VCSEL数组。2 d VCSEL数组与成千上万的发射器间距为几十微米甚至可以与二极管酒吧和二极管堆栈基于边缘发射半导体激光器通过生成几十瓦的连续辐射。添加更多的排放使它简单的增加输出功率。
现代表面测量技术
这些不同的最佳选项,复杂的应用程序提供一体化解决方案。他们必须能够处理常规,变薄,保税晶片以及电影帧和能够满足测量范围广泛的标准流程。
此外,MicroProf®FS提供广泛的测量解决方案,跟踪各种化合物半导体基板,包括砷化镓、输入、碳化硅、氮化镓,氧化锌,透明材料。欧洲杯足球竞彩
技术解决方案
的MicroProf®FS是一个全自动晶片计量仪器的使用在生产过程的不同阶段,包括:
- 缺陷和霾映射与伟大的敏感性显著sub-micrometer外延后的缺点
- 介质层的厚度,高度和宽度的金属化,
- 台视、厚度、粗糙度和roll-of-amount (RoA)测量晶圆研磨
- 晶片厚度的测量
- 确定临界尺寸(CD)和腐蚀深度
- 弓在epi过程控制和压力
- 债券晶片锥度和粘合剂层缺陷的检查
- DBRs布拉格反射镜的反射光谱()
的MicroProf®FS提供非凡的灵活性和通用性,由于其模块化的多传感器的概念。这使它理想的几个生产VCSELs测量任务。这个临界点VCSEL生产商不断地修改他们的研究项目利用新材料和尖端nano-scientific理论。欧洲杯足球竞彩
相反,形状因子FRT MicroProf®迪光学检查工具使结构化和非结构化的晶圆生产过程中进行检验。
的MicroProf®DI为各种应用程序提供了测量解决方案通过整合2 d检验和计量,包括缺陷检查和wafer-level micro-bumps计量,RDL、叠加,通过硅通过(TSV)在一个单一的测量工具。
基本组件
著名的MicroProf®300年是重要的组成部分。通过混合测量概念,这多传感器测量工具增加了精度的测量样本单个传感器或一个单一的测量原理是不够的。它还允许测量晶片各流程阶段。
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这些测量可以使用各种地形和(层)厚度传感器,所有完全自动化的一个配方,根据不同的任务。这些传感器自动结合多条信息内部软件的控制下由形状因子FRT,创建新的信息没有立即可用。
该软件
形状因子的FRT获得自动化XT软件控制工具,符合半标准。使用这个软件,测量可以根据配方,全面的数据分析是可能的,包括VCSEL的自动确定参数。
从选择的包,用户可以选择测量和评估过程最适合一个特定的测量任务。布局向导使用图形用户界面(GUI)可以帮助他们填写的测量位置重复出现的结构。此外,它是可选的使用模式识别准确的样品一致。
这个软件提供了一个广泛的功能,包括全自动测量用一个按钮操作和集成到生产控制系统,如通过秒/宝石接口,除了手动测量工具。
它是简单程序众多测量任务顺序执行各种传感器作为测量序列。这也包括智能算法来执行处理,测量和分析。
的输出和显示结果的报告和他们的各种数据格式的出口也包括在内。客户还获得通过/失败水平分类和样本统计量的晶片和死亡水平。
完美的主力
几乎不需维护的硬件组件和一个晶片处理系统中的设备前端模块(EFEM)2020欧洲杯下注官网MicroProf®FS提供了一个高吞吐量和完美的主力。用户可以快速收回投资支出MicroProf®FS和跟上VCSEL行业的快速发展。
这些信息已经采购,审核并改编自形状因子Inc .提供的材料欧洲杯足球竞彩
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