用双EDS探测器为映射提供了许多好处粒子或样品。欧洲杯猜球平台它不仅增加了吞吐量,同时保留一个探测器的能量分辨率,但它也有助于减少阴影的影响和地形工件样品不均匀或断裂表面。在平坦,光滑的表面,他们提供更高的质量和更多的统计数据准确的映射数据。
的样本可能不被认为是理想的,双探测器的使用可以帮助减少阴影造成的工件和地形。在这些情况下,x射线粒子或发出小对象可能被更大的物体附近,导致信号强度下降欧洲杯猜球平台。
检查样品时严重的表面形貌,阴影和地形引起的工件可以是巨大的。高地形区域可以阻止x射线信号较低的地区,导致信号衰减。倾向于探测器表面或倾斜远离它可以导致起飞角度变化,进一步改变x射线信号强度。
当使用电子束扫描在一个粒子,起飞角也随着梁的不同粒子的球面。了解双EDS探测器的优点,EDAX采用辛烷超级精英(探测器1)和辛烷选出超级(检测器2)硅漂移探测器在不同方位角度和收购EDS地图数据从理想和非理想样品使用顶点™软件。
结果与讨论
使用双EDS探测器导致高质量的地图数据或收集效率。对于这个示例,地砖样品平,表面光滑映射。图1显示了扫描电镜图像,CPS地图,ROI的地图来自探测器的选定元素。
CPS地图(图1 b)说明了x射线计数率在每个像素的数据集,在亮像素显示地区高计数率。样品有许多磷酸氢钙和硅酸锆颗粒显著特性。
然而,元素P K、锆L的地图(图1 e和f)看起来相似,尽管有一些谷物有不同信号强度。这是由于P K、锆L山峰被严重重叠,只有29电动汽车能量差。ROI地图是基于原始x射线计数,峰重叠不考虑。解决重叠峰,背景减法,反褶积,或运行完整的量化程序在每个像素的数据集是必要的。
Wt % P K、锆L的地图在图2中被重构从单个探测器和总结ROI的地图。Wt % P K的地图(图2 a和2 b)包含轻微噪声像素造成的右下角富含硅元素c阶段如图1所示。Zr L地图(图2 d和2 e)有更明显的噪声像素主要由于富含铁的夹杂物和残差图1中的磷阶段d。
这些噪声像素不能区别于背景由于缺乏统计数据。地图重建从总结ROI地图(图2 c和图2 f),许多消除噪声像素和背景显得更加一致的由于使用两个探测器总结统计。
当进行背景减法和峰值反褶积,总数量是至关重要的。加法双探测器的x射线计数,计数每像素的数量可以增加,导致改进和更准确的结果。
图1所示。从地砖概述双探测器的数据样本。一)SEM图像和b)总结CPS的地图视野。氟)总结ROI的地图如果K、铁K, Zr L,分别和P K。图片来源:EDAX。
图2。Wt % P K的地图重建从计数)探测器1和2 b)探测器,探测器和c)的总结。d-f)相应的Zr L地图上面的地图。加工高对比度和亮度的版本图如图3所示。图片来源:EDAX。
图3。图2的高对比度和亮度图像突出背景外的磷酸氢钙和硅酸锆谷物。图片来源:EDAX。
处理工件的理想样本映射与单个探测器时更加困难。在这个实验中,石英颗粒被映射与双探测器,同时和两个数据集欧洲杯猜球平台的总和。CPS和元素地图被用来评估地形和跟踪工件获得显示的示例。
这些地图中的黑色区域表示信号衰减,这意味着x射线探测器收到没有。检测器收集的CPS图1中(图4),在黑暗地区展示了相邻粒子阴影射线信号。欧洲杯猜球平台
相比之下,相应的地区地图从探测器2(图4 b)正面临向探测器,导致更多的x射线计数由探测器接收。
通过总结这两个地图,计算每个像素的数量增加,导致两个探测器都可见的影子工件(图4 c)。但是,通过使用两个单之间的最大信号在每个像素探测器CPS地图,如图4所示,双阴影和地形构件显著降低。这一方法并不能提高统计或光谱质量的信号只有一个地图或其他使用。
图4。CPS地图的石英颗粒)探测器1,b)探测欧洲杯猜球平台器2,c)之和CPS两探测器,地图和d)的最大信号CPS地图。图片来源:EDAX。
当进行污染评估或失败分析,必须彻底检查尽可能多的相关对象。在这样的一个实例中,氧化铁的样本进行了分析使用一个双重能量色散谱(EDS)探测器的设置来确定磷作为表面污染物的分布。
化学成分的结果产生的地图双重EDS探测器表明问题的样本有一个高度不规则断裂表面有明显阴影区域中所描绘的一样(图5 a和5 b)。
尽管存在相当数量的磷颗粒,P K显示的地图,和相对均匀分布(如图5 d和5 e),可见有空白的圆圈区域基本地图。欧洲杯猜球平台
地图的地形变化单一探测器化学成分是缓解在合并后的地图使用的最大信号生成函数,如图5所示。
跟踪是有效解决的最大信号P K图,导致更精确的数据表示,如图5所示。评估数据质量的提高,三个化学成分映射被转换成二进制图像,和磷颗粒的密度测量。欧洲杯猜球平台
样品表面粒子的密度确定6504个欧洲杯猜球平台粒子/毫米²和6178个粒子/毫米²从检测器收集的地图1和探测器2,分别。然而,密度在合并后的地图,这是使用最大信号函数,生成7795个粒子/ mm²,表明无论是探测器捕获大量粒子在样品表面。欧洲杯猜球平台
图5。CPS地图收集从一个)探测器1和2 b)探测器,和c)的最大信号CPS地图。d) - f)相应元素P K的地图上面的地图。失踪的红圈突出区域信号检测器。胃肠道)的二进制图像元素地图之上。图片来源:EDAX。
结论
利用相同的条件下,使用双探测器允许双重的增加吞吐量,同时仍然保持单个探测器的分辨率。这导致生成高质量的地图数据或数据收集时间的减少。样品不能承受高束电流,双探测器提供的能力获得提高地图数据使用低束电流。
在案件理想样本,利用双重EDS探测器被证明是非常有益的解决阴影和地形的影响通常与颗粒粗糙或有关断裂表面。欧洲杯猜球平台
从两组地图选择的最大信号由双探测器是一种更有效的方法解决这些工件的不仅仅是加法的地图。
这些信息已经采购,审核并改编自EDAX提供的材料。欧洲杯足球竞彩
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