主动隔振系统的重要性研究实验室

韦斯·维格斯沃斯在这次采访,TMC应用经理会谈AZoM主动隔振系统的重要性的研究实验室。

请您能提供你的经历和背景的概述?

我目前在TMC应用程序经理。我有26年经验的振动和噪声控制敏感的科学仪器,先进的计量和工艺设备。2020欧洲杯下注官网我关注近20年来一直积极振动取消及其应用支持电子显微镜,eBeam光刻技术,光学和AFM-based检验工具和其他高度敏感的应用在生命科学、材料研究,半导体制造业。欧洲杯足球竞彩欧洲杯线上买球

安静的岛在地板的环境中

图片来源:TMC振动控制

主动隔振系统是什么,以及这些系统吗?

主动隔振的最佳描述是隔振系统是“主动”取消机械振动而不是回应或过滤振动。有效隔离利用惯性传感器监测的振动和反馈和/或前馈控制回路将过程信号,然后驱动执行机构从而减轻振动测量。

什么这些系统使用的设施吗?

最常见的这些系统安装在高级研究和工程实验室尤其是显微镜中心和光子学、纳米制造和半导体制造设备(例如晶圆厂)。典型的应用程序扫描和透射电子显微镜,聚焦离子束,面具对齐,晶片检查和计量,电子束光刻技术、原子力显微镜、干涉法。

隔振为何如此重要?

想象试图衡量大小的一只蚂蚁坐在叶随风飘荡从10英尺远的地方。现在想象100英尺远。甚至用双筒望远镜和一个朋友举行一个统治者的蚂蚁,在最好的情况下,它将是非常困难的。但如果你的朋友可以把叶子稳定,至少你有机会。仪器的技术支持的积极隔振拥有先进的非常在过去的5 - 10年中,有效地使您测量的每个部分的大小从一英里外“蚂蚁”,但前提是“叶子”可以保持稳定,也许只有5分钟,但有时为24小时。

分辨率要求,成像时间和特征尺寸继续推动需求前所未有的隔振,并将继续这样做,随着科学技术的进步。欧洲杯线上买球

你能解释是什么让staci 4最复杂和最先进的主动隔振系统商业化?

staci一直是最先进和最高表现为低频主动取消技术商用地板和建筑振动。TMC已经开发这个系列技术改善电子和先进的控制算法提供5-10dB(2到3次)比以前取得了staci三世。现在的专利FloorSense staci 4有一个新的格式提供60 db改进2赫兹。

实际上,它有哪些优势比其他系统?

通过提供更多的振动取消10赫兹和下面,staci 4 FloorSense将使研究和精密仪器及其在药物发现过程和半导体随着这项技术的发展为我们的世界在未来几年。

什么范围的振动可以staci 4操作结束了吗?

staci 4可以减弱建筑物振动低至0.2赫兹开始,并能积极主动减弱VC-E *的地板已经公布的科林·戈登(包括一个参考VC振动判据)降至远低于VC-G范围。在吵着地板,我们看到4或者5水平的降低风险投资规模。

如何staci 4与系统集成,已经内部空气隔离系统?

几乎所有的仪器支持staci内部基于air隔离系统。staci /替代解决方案的一个重要的优势为这种类型的应用程序比空气staci大约100 x硬隔离在仪器。这非常重要,因为这两个阶段的隔离是必需的,而且必须独立进行优化,让这些工具被安装在忙,实验室和工厂工作。简单地说,staci是专门设计来支持这样的工具在严酷的环境下。

staci 4如何构建staci三世?

一个方便我们现有用户和工具设计师staci 4个人隔离器模块是相同的大小和形状作为他们的前任。控制器是相同的单一机组机架数字控制器staci三世。内部的隔离器和控制器是建立在,和先进的系统。全新的是FloorSense模块,额外的硬件在这个版本的系统提供最高水平的振动取消商业现成的解决方案。

你学到了什么教训通过staci三世,可以采用它的继任者?

staci三世我认为最重要的特性是它是一个惯性主动取消地板振动系统与硬装入串行架构和压电致动器。这是真正的基础设计最先进的低频隔振系统。我们并没有离开,而是,正如前面提到的,建立在它。

staci 4系统使用有多容易?

一旦安装,它是很容易的。我们的用户界面与系统通过基于pc图形使用界面或直接在前面简单的dc - 2020控制器。高级选项包括监控系统的输出捕获和保存实时数据。

在地平线上的发展是TMC主动振动控制?

台湾记忆体公司是一个解决方案提供商将工程技术与先进的研发和垂直整合生产和安全稳定的供应链。我们不断听工业发展下一代的需求解决方案成本有效地着眼于未来。我们目前有几个项目在规划之中。

关于韦斯·维格斯沃斯

韦斯·维格斯沃斯自1997年以来一直与台湾记忆体公司,目前活跃的Applciations经理系统。

韦斯曾在应用工程,销售工程,科学和技术行业的OEM客户管理在一段时间内超过24年。

他拥有电气工程学士学位,梅德福Tufts大学硕士。