透明导电氧化物(TCO)是一种光学透明和导电材料。它经常被用作电极在薄膜太阳能电池,平板显示器(fpd)和触摸屏。氧化锌利用率作为TCO显示了巨大的希望。
图1所示。se - 2000。图片来源:Semilab半导体物理实验室
的se - 2000仪器从Semilab是一个结合椭圆光度法测量系统,具有独特的测量能力,不仅从中紫外线。
这个乐器是一个强有力的候选人工业规模的计量解决方案计算层厚度,以及电气和光学性质的TCO层非破坏性的方式。
计量
本文提出了一种研究使用光谱椭圆计和一个波长范围从250纳米到16μm。
层厚度和层的旋光色散材料由建模层结构,随后建立了拟合模型参数匹配模拟光谱来测量的。欧洲杯足球竞彩
图2。椭圆对称原理的示意图。图片来源:Semilab半导体物理实验室
用例
测量实例对原子层沉积、铝(Al)掺杂氧化锌(偶氮)层。添加铝主要是增加了n型氧化锌的电导率。
图3。模型结构的三个不同的样本类型:A)在硅基片上偶氮层,2.5%,250°C, B)偶氮层玻璃衬底,3%,225°C, C)偶氮层Si-EPI Si衬底,3%,225°C。图片来源:Semilab半导体物理实验室
原子层沉积的调查艾尔:氧化锌层
演示的多层结构模型的鲁棒性和巨大的波长范围测量的需要,特别是在C组类型之间有一层Si EPI的地方偶氮层和基质。
椭圆对称模型能够区分的Si EPI偶氮层,以及从Si EPI层基质偶氮/ Si-EPI / Si衬底样本类型。
然而,电测量等4页不能单独层由于表面电阻测量结合整个堆栈的电气性能。
图4 a - C显示最高的掺杂剂浓度可以获得利用约260°C沉积温度和大约2.5%的目标浓度。
图4 d展示了相关的两个数据集(SE & 4页),这显示了一个高的相关系数为0.9993。
图4。掺杂剂浓度颜色映射过程温度和目标浓度的函数(一)——(c)和薄层电阻之间的关联图从椭圆对称特性和4页获得测量值被选中为偶氮/玻璃类型样本验证。图片来源:Semilab半导体物理实验室
样本集的参数符合测量提供分散的数据演示了对工艺参数的改变。灵敏度Al %是明显的。
图5。折射率(a)和消光系数(b)的偶氮型225°C的样本过程温度。灵敏度Al %是明显的。图片来源:Semilab半导体物理实验室
欧洲杯足球竞彩材料和结构
以上方法可以也申请了其他TCO的欧洲杯足球竞彩材料,如铟氧化锌(IZO),铟镓氧化锌(IGZO),偶氮等,沉积在Si或玻璃衬底。
引用
- Laszlo Makai等。”突破仪器和产品:原子层沉积的调查艾尔:氧化锌层不仅通过从深紫外光谱椭圆光度法中在一个乐器”在每年出版卷92,问题11,2021年11月,doi: 10.1063/5.0071638。
- 安德森Janotti et al .,氧化锌半导体”的“基本面IOPscience, 2009年10月22日,doi: 10.1088 / 0034 - 48欧洲杯线上买球85/72/12/126501
这些信息已经采购,审核并改编自Semilab半导体物理实验室提供的材料。欧洲杯足球竞彩
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