透视深层瞬态透镜与Semlab

深层瞬态光谱系统测量器和流瞬式通过DLS系统内锁分解器和密码计量模式包含:

• 温度/频率扫描
• 深度剖析
• CV特征描述
• 抓取跨段
• 光学注入
• 瞬态数字化

应用区

• WaferEPI制造商
• ibs
• 研究所

图1DLS系统图像感知:Semlab半导体物理实验室

度量法

样本生成电容瞬态,然后由工具测量使用锁定技术时使用温度扫瞄后台工具过滤噪声并评价瞬态信号

图2测量Mg₂s温度扫描 和相应的Arrhenius图 各种锁入频率趋势峰值移位与获取参数对比使得有可能推导激活能并捕捉相关陷阱状态的剖面

• 获取瞬态数据向客户提供污染和缺陷的准确信息
• 异常高敏感度,能检测2*10以下杂质⁸原子/cm³因主测量单元突出信号对噪比而实现
• 限制:反向测量需要样本准备样本大小取决于冷冻器,温度范围取决于具体应用

使用案例

下图描述西区Fe沾染使用热处理法Fe-B对可分离产生增强Fe_互连性峰值进程可逆性允许样本松动再次淡出峰值

图3硅铁沾染图像感想:Semlab半导体物理实验室

欧洲杯足球竞彩素材结构

理想样本特征取决于测量目标,并适用下列通用条件:

• 样本大小介于3x3至10x10m²范围与Schottky接触或对称p-n交叉
• 耗竭区不超出层厚度
• 接触维度超过0.5x0.5mm².

基底自夸低阻抗性Ohmic接触

相关度量

• 面照片流
• 微波光导下降
• 光谱镜像
• 频谱光照

欧洲杯足球竞彩这些信息取自Semlab半导体物理实验室提供的材料并经过审查修改

详情请访问半导体物理实验室