在硅晶片上用于手机天线过滤器上的高性能散装声波（BAW）过滤器

In collaboration with Philips’ semiconductors division, scientists at Philips Research have developed an innovative new process technology for producing high-performance BAW (Bulk Acoustic Wave) filters on silicon wafers, each filter being housed in a chip-scale package fabricated as an integral part of the wafer processing. Aimed at replacing the SAW (Surface Acoustic Wave) and ceramic devices currently used as antenna filters in mobile phones, BAW filters fabricated in this new technology offer high performance coupled with smaller physical size. They therefore represent a critical step in reducing the footprint of RF modules so that more functionality can be squeezed into next-generation wireless products.

随着越来越多的通信系统开始使用800 MHz至10 GHz范围内的频段，天线过滤器在防止一个系统干扰另一个使用近距离频段的系统方面变得越来越重要。因此，这些过滤器需要具有确切匹配特定系统载波频率范围的带通特性，以及处理手机传输的最大RF功率水平的能力。与锯过滤器相比，BAW过滤器具有更高的功率处理能力和更好的温度系数（通常小于21 ppm/度的开尔文），从而导致更稳定的操作。与陶瓷过滤器相比，它们提供的组件尺寸要小得多。

飞利浦开发的BAW过滤器使用固体安装的氮化铝BAW元件来提供身体稳健性和出色的功率处理，安装在Bragg反射器上，以隔离硅底物的声学振动。这些BAW元素是使用特别由飞利浦开发的二维建模技术设计的，其Q因子超过1000，并且每个滤清器截面的典型插入损失为0.5 dB（对于典型的3段滤波器的总数小于2 dB）。在晶圆处理过程中，将保护性盖和翻转芯片焊球添加到设备中，在将晶片切成单个组件后，设备不需要进一步的包装操作。

Philips Research已成功证明了基于该技术以高达16 GHz的频率运行的技术谐振器和过滤器，但认为它们的主要应用将位于800 MHz至10 GHz范围内，可满足无线收发器的需求，这些系统对蓝牙，蓝牙，，，，，蓝牙，，，，蓝牙，，蓝牙，，，均等。GSM/GPRS/EDGE，UMTS和IEEE 802.11A。BAW过滤器都可以用作单独的组件，并且可以成为用于无线应用程序的集成RF系统包装解决方案的一部分。

于6月24日发布^Th，2004年