光盘(CD)和数字万能光盘(DVD)现在是流行的数据存储。CD/DVD的信息单元是一个所谓的坑。CD和DVD是用聚碳酸酯冲压制成的。镍冲压件通常用作带有凸起物的邮票。这些突起形成凹坑。一组光盘的质量取决于一个压模的质量，即需要对压模进行初步控制。
SPM用于cd和dvd的坑分析
镍压模的磁性和其大尺寸(140mm)给电子显微镜控制带来了困难。也有基于电原理的表面分析设备，但这种测量不能可视化坑的几何形状。SPM具有分辨率高、测量速度快、可对大样本进行无损测量等优点，是进行坑形分析的理想工具(图1)。在CD/DVD冲压件的制造过程中使用SPM是一种前瞻性的质量监控方法。SPMs有助于检查压模质量和减少缺陷外观的风险。可以研究压模在各种外部影响下的形貌变化，例如观察抛光或吹制变形。它也可以观察地形变化，由于加热挤压聚碳酸酯。在冲压件制造过程中，对冲压件表面的几个零件进行了控制，提高了冲压件的质量。同时，对磁盘进行选择性控制。
图1所示。用SPM测量CD的单个凹坑。
观察磁化反转过程
在外磁场中进行的实验使我们能够观察磁化逆转的过程。NT-MDT SPMs的设计允许在磁力显微镜(MFM)测量中应用各种外部磁场。本文的结果是在SOLVER P47上安装了一个电磁铁，可以产生高达500Oe的磁场。所研究的样品是在高取向热解石墨上沉积的钴多晶图案化薄膜(40nm厚)，其形状为微米尺寸的矩形(图1)。
2020欧洲杯下注官网设备和方法
从上述大型样本的测量可能出现的是，CD / DVD行业的主要需求至SPM。NT-MDT设备有三种基本配置，满足此需求，并提供有效的CD / DVD分析：
1.SPM求解器P7LS（图2）。电动定位级，用于直径尺寸的样品的样品真空支架，光学观察系统和自动方法，使该装置成为CD / DVD行业最方便的。
2.SPM独立Smena与特殊设计的Smena Base相结合，适用于大型样品（图2）。当求解器P7LS提供时，该设备可以提供与求解器P7L相同的噪声水平。这种设计不包括真空支架和电动定位阶段。自动方法可根据要求提供。样品的定位由手进行。
3.SPM独自站立，具有特殊的长腿，允许在它们之间放置CD / DVD。
图2。NT-MDT SPM求解器P7LS。
在这种情况下，用户必须在尖端下提供样品的硬固定。
地形测量的操作模式
地形测量主要有两种模式:接触和半接触。半接触模式采用悬臂梁，悬臂梁在谐振频率下振荡。因此，探针和样品只接触振荡周期的一小部分。这导致了摩擦力和毛细力的破坏作用明显减少。因此，半接触方式更适合聚碳酸酯等软材料。欧洲杯足球竞彩
晶须类型悬臂
“晶须类型”由NT-MDT制造的悬臂仪提供比标准硅悬臂更精确的测量。这种类型的悬臂包括由碳针增强的标准硅悬臂组成，具有高纵横比。聚焦离子束（2月）在尖端的末端生长碳针。“晶须类型”悬臂适用于突然步骤的更精确测量。另外，碳是疏水材料，因此碳尖端不存在水的吸附层。这也增加了测量的准确性。
统计纠纷表示“状态”的数据
获得的结果需要统计治疗。NT-MDT软件包含一个工具菜单“谷物分析”（图3），其开发用于统计地处理躺在平坦表面上的颗粒（也适用于凹坑）。欧洲杯猜球平台在这些工具的帮助下，可以确定凹坑的几何尺寸，不同的图形近似凹坑，例如矩形，椭圆形和矩形，圆形侧面（模拟CD / DVD凹坑）。基于这种近似的轴的方向，确定它们之间的角度和其他参数。
图3。菜单的主要观点是“谷物分析”。
参数确定CD / DVD压模质量
决定CD/DVD或冲压件质量的主要测试特性是:
一种）凹坑(凹坑)的形状和大小。例如，凹坑(隆起)必须有一个平坦的区域(图4a)。如果没有观察到这样一个平面(图4b)，那么在读取过程中就会产生误差。凹坑深度是测量信号振幅的重要参数。SPM求解器P7LS能够以一个纳米的一小部分分辨率测量坑的高度。
b)坑道(坑道)侧的坡度。
c)凹坑(凹凸)表面的粗糙度影响激光光束的反射。
d)轨道俯仰和轨道稳定性。
e)这一比率为单个坑的体积。这是CD/DVD的一个重要技术特性。
f)一个数字即数据密度。
图4。不同工艺制备的镍压模表面AFM图像。图像获得的半接触模式，求解P7LS。
NT-MDT软件可以计算调查区域的所有这些参数。
表面质量和表面缺陷
此外，SPM通过显示表面缺陷来检查CD/DVD表面的质量。图5中有两个划痕和小丘。
图5。CD盘的缺陷表面的SPM图像。
印章地形
在样品的不同地方测量的凹坑或凸点参数的知识可以有效地控制CD/DVD制造。图6显示了冲压件的形貌。地形测量后，应用“颗粒分析”菜单获得地形数据。图7中的黑线标记了预设水平下的凸点轮廓;红线近似于椭圆上的突起。计算了凸点阵列的不同参数。其中一些如表1所示。这些缺陷影响了数据读取的质量。
图6。CD/DVD压模的表面形貌。
表格1。CD/DVD压印机表面特征分析。
|
Z-Lev |
116.70nm. |
116.70nm. |
116.70nm. |
Dvolume |
291.08纳米 |
361.17纳米 |
415.57纳米 |
dsquare. |
756.80纳米 |
1056.55纳米 |
1270.31纳米 |
长度 |
883.93nm. |
1581.00nm. |
2153.94纳米 |
宽度 |
825.00纳米 |
899.00纳米 |
953.89纳米 |
Xpos |
6046.41纳米 |
4112.79纳米 |
3468.24nm. |
Ypos |
4404.36纳米 |
2117.78纳米 |
4112.79纳米 |
东方 |
85.28° |
85.28° |
85.28° |
错误 |
13.20% |
19.20% |
22.30% |
其中：z-lev是部分的预设级别（图7）;DVOMUME（DV） - ZLEV（3√V）上方的凸块有效尺寸;dsquare（DS） - z = 116.7nm级凹凸的有效尺寸（尺寸）;长度 - 凸起长度;宽度 - 凸起宽度;XPOS，YPOS - 凹凸中心的坐标;方向 - 凹凸取向角度;误差 - 椭圆近似值近似的错误。
图7。stamper bump的一部分。
已确定的其他信息和参数
同时，还提供了凸起边的坡度(图7)和其他参数信息。表二显示面积比率(α.年代)及卷数(α.V)。
表2。不同凸块的区域和体积之比。
α.v10 - 6 |
1.24 |
α.年代10 - 6 |
1.397 |
α.v- 9 |
1.42 |
α.年代- 9 |
1.68 |
α.v9-6 |
1.145 |
α.年代9-6 |
1.202 |
所确定的参数可用于凹凸几何分析，揭示技术缺陷和其他应用。
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这些信息是由NT-MDT光谱仪器提供的材料来源、审查和改编的。欧洲杯足球竞彩
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