测定玻璃Y2O3折射率的测定

Y₂O_3.薄膜是用于许多应用的良好材料，欧洲杯足球竞彩如保护铝和银镜涂层，宽带可见Ar涂层中的中间层和Xecl激光器AR和介电镜设计。他们₂O_3.薄膜是坚硬的，通常是与玻璃，锗，硅，硫化锌和硒化锌的高附着力的无定形粘附，以及铝和银等金属。在一些情况下，非常薄的yttra层可以用作非氧化物基材上的多层涂层的粘附启动子。该材料是中指数，并且在接近UV范围（300nm）到IR（11μm）区域非常透明。

氧化钇薄膜的制备方法有反应热沉积、电子束沉积、离子辅助沉积(IAD)和磁控溅射等。由于折射率依赖于过程，因此高精度地知道薄膜的光学常数和厚度是很重要的，特别是当它们被用作高折射率材料和与高折射率材料(如TiO)结合时欧洲杯足球竞彩₂和助教₂O₅．

本文描述了如何使用HORIBA Scientific的UVISEL光谱相位调制椭偏仪来表征衬底对Y生长的影响₂O_3.，即Y的光学性质的不同₂O_3.在非晶玻璃基片上生长的薄膜和在ZrO预蒸发层上生长的薄膜₂．

样品制备

薄膜是在活性氧气氛下用电子束蒸发法制备的。起始原料为Y的颗粒欧洲杯足球竞彩₂O_3.．玻璃基板厚5mm，在沉积期间旋转以改善薄膜的均匀性。在第一个运行中，将两个裸玻璃基板放入腔室和Zro中₂薄膜沉积。对于第二次运行一个裸玻璃基板，并使用预蒸发的Zro从第一运行中的样品₂被放入腔内，Y₂O_3.层被沉积。

制备三个样品并表征如下。

• Sample1: ZrO₂单层膜(见应用说明，参考:SE06)，
• 样品2：Y₂O_3.单层，
• 样品3：Y₂O_3.在zro₂pre-evaporated。

结果

这项工作是使用Horiba Scientific进行的紫外可见光谱椭偏仪．椭圆测量测量以300-830nm的光谱范围为70°的发生率。从SE数据分析中提取折射率和厚度。使用以下Lorentz振荡器公式测定光学常数：

Y的表征₂O_3.在玻璃上

Y₂O_3.是中指数和低吸收材料。随着层厚度的增加，可以出现一定量的指数不均匀性。通过在蒸发过程中提供足够的氧气回填来降低效果。与Zro一样₂样品（SE-06）对χ²值的显着改善，具有两层模型，顶层是多孔的。使用有效介质近似（EMA）Deltapsi2（DP2）软件可以确定与基材上的层相比的孔隙度，并且在这种情况下发现它是25％。

图1所示。Y₂O_3./玻璃

图2。Y₂O_3.光学常数

Y的表征₂O_3.在zro₂

作为第一步，使用从先前结果​​中发现的光学常数来表征该样本。获得了薄膜的良好值，但发现结果可以通过使用稍微复杂的结构来改善结果。

遵循几种方法（两部电影之间的界面层），但最终模型明显改善拟合，是Y的优化₂O_3.厚度、指数和孔隙度参数。在最后的结果Y₂O_3.折射率的变化两个样本之间的误差约为0.02。

图3。Y₂O_3./ ZrO₂/玻璃

图4。新Y.₂O_3.光学常数

结论

沉积条件产生了非均匀的多孔层紫外光谱相位调制椭偏仪．此外，光谱测量允许测定Y的光学常数之间的微小差异₂O_3.在裸衬底生长的薄膜和在zro上生长的薄膜₂电影。

此信息已采购，从Horiba Scientific提供的材料审核和调整。欧洲杯足球竞彩

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