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998纯氧化铝的酸清洗
尽管有普遍的看法，但似乎并不都是商业性的99.8%纯氧化铝氧化物是一样的。虽然它们可能具有相同的化学性质，并符合这种材料的公认工业规范，但在关键操作条件下，它们的表现可能不同。
高纯陶瓷的酸蚀刻试验
最近对来自七个不同制造商的高纯度陶瓷样品进行了加速酸蚀刻测试。试验表明，酸蚀后的表面粗糙度和真空完整性有不同程度的下降。这是一个值得关注的问题，因为这些特性对表面光洁度、细粒度、均匀结构、高密度、耐腐蚀性、抛光性和密封质量有重要的影响，在这些应用中，氧化铝组件必须承受长期的酸暴露。相关用途包括半导体工艺、受腐蚀侵蚀的广泛工业轴承、高速旋转设备、滑动血阀和脱盐操作。2020欧洲杯下注官网
半导体氧化铝纯度测试
这些测试是由摩根先进材料公司(Morgan Advanced Materials)在分包欧洲杯足球竞彩商的协助下进行的，专门用于量化商业纯度为99.8%的Aluminas与制造设备使用后回收使用的半导体工艺的反应。2020欧洲杯下注官网这种方法认识到陶瓷半导体工艺组件在使用后可以多次回收。当需要去除过程残留物时，通常进行酸蚀刻来回收氧化铝反应器组件。测试的主要目的是模拟和评估工艺套件组件的多次使用和回收循环的影响。
998纯氧化铝的试验方法
在测试过程中，7个不同的998氧化铝样品被抛光，并浸入相对腐蚀性的33/33/33%的氢氟酸、硝酸和去离子水(足以溶解玻璃)中10至20分钟。每个环形测试样品直径为200毫米，厚度为5毫米，两侧用金刚石抛光，表面为5微英寸Ra。
表面损伤和粗糙度的测量
为了定量测量酸对陶瓷样品造成的表面损伤和粗糙度(Ra)，采用手写轮廓仪对陶瓷样品进行了评估。真空氦泄漏测试是在酸暴露前后使用定制夹具进行的。每次泄漏测量后使用相同的密封。
氦泄漏试验
抛光后，氧化铝样品在超声波和温和的肥皂溶液中清洗10分钟，然后漂洗和干燥。进行氦泄漏测试，以确保所有样品在酸蚀刻之前都是密封的。采用定制的铝蛤壳夹具通过77厘米的密封长度测试样品板两侧的氦泄漏率。所有测试均使用氟通747 o形密封圈。样品放置在Veeco MS50真空氦泄漏分析仪的固定装置中。
氦泄漏测试进行了两次，然后记录两次测试的最佳结果。为了进行所有测试，两个o形环都经过了仔细的清洗。酸蚀样品经过专业清洗;因此，在进行泄漏测试或粗糙度测试之前，没有接触过它们。
在酸暴露10分钟和20分钟后，对每个样品的表面粗糙度和氦泄漏进行评估。表面粗糙度数据是基于距离密封面2cm处的三次测量的平均值。
测试结果
在浓酸暴露20分钟后，所有的Aluminas都显示出了一些表面粗糙度的下降(图1)。然而，7个中的2个只显示了轻微的表面粗糙度。他们在测试中的表现明显优于其他五个样本。
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图1所示。99.8%纯度氧化铝试样加速酸蚀后的表面粗糙度。
在粗糙度测试中两个最好的表现之一也在氦测试中显示出最好的结果(图2)。另一个样品，不是两个粗糙度评估的领导者之一，表现得几乎与提供最高泄漏完整性的氧化铝一样好。3号测试样品在氦气测试中显示出较差的结果，相对于所有其他测试样品。
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图2。抛光氧化铝样品在氢氟酸、硝酸和去离子水中浸泡后氦气泄漏试验结果。
氧化铝样品4号被意外划伤，越过密封面而被破坏。由于这个原因，20分钟蚀刻真空氦泄漏数据没有被采集。
总结
试验清楚地表明，纯度为99.8%的氧化铝在强HF/HNO3酸溶液中具有不同的腐蚀性能。这些陶瓷表现出优越的耐腐蚀性，能够最好地抵抗表面退化和保持真空完整性，可以在许多依赖于高纯度氧化铝的应用中提供组件性能的优势。
显然，氧化铝的处理方式会影响性能。很多因素需要考虑，因为没有两家纯度为99.8%的铝矾石制造商以完全相同的方式生产他们的材料。有不同的技术，例如，平衡二氧化硅含量和工程晶界。应该对这些和其他过程进行调查。
当材料看起来完全相同时，加工又能产生多大的不同呢?欧洲杯足球竞彩参考半导体行业的改善证据。一段时间以来，该行业一直在回收99.8%纯度的氧化铝反应器组件，以去除残留物，平均循环3次。然后必须更换氧化铝组件。
随着氧化铝等级的提高，这些半导体制造商报告说，在需要更换氧化铝部件之前，平均酸蚀刻10倍。
摩根先进材料公司是摩根坩埚有限公欧洲杯足球竞彩司的子公司，是一家垂直一体化的技术陶瓷、工业陶瓷和高纯氧化铝和氧化锆基结构陶瓷组件制造商。
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这些信息已经从摩根先进材料公司提供的材料中获得，审查和改编。欧洲杯足球竞彩
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