用微光谱法测量亚微米样品中的薄膜厚度

Craic Technologies是世界领先的紫外可见度范围科学仪器的世界领先开发商。这些包括QDI系列UV-Visible-NIR微光谱仪仪器旨在帮助您非破坏性测量微观样品的光学特性。CRAIC的UVM系列显微镜覆盖了紫外线，可见和NIR范围，并帮助您分析远远超出可见范围的亚微米分辨率。CRAIC技术还具有CTR系列拉曼微光谱计，用于对微观样品的非破坏性分析。而且，不要忘记Craic自豪地支持我们的微光谱计和显微镜产品，并提供无与伦比的服务和支持。

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综合电路中的薄膜

现代集成电路是通过将不同材料的层上的层沉积在底物上，然后在这些薄膜中蚀刻电路制成的。欧洲杯足球竞彩必须精确控制膜的厚度，以便可重复制造我们的一生依赖的集成电路。通常，薄膜仅是数十个纳米厚的，并且在亚微米范围内具有电路尺寸。

微光谱计，用于薄膜厚度测量

因此，微光照射计，例如由CRAIC技术制造的微光照度，是快速，易于可靠地测量膜厚度的最有效工具之一。这样的膜厚度测量工具旨在将微光照射器与复杂的软件和自动化无缝整合，以测量薄膜厚度抽样区域可能小于微米。这样的仪器旨在测量沉积在许多类型的底物上的多种类型膜的膜厚度。

透明和Obaque底物上的薄膜厚度测量

薄膜厚度测量可以对透明和不透明的底物进行制作，这些底物可用于在除半导体芯片和MEMS设备外，还可以使用此类工具来监视诸如平板显示器之外的设备上的膜厚度。

图1是通过CRAIC技术看到的集成电路的一个示例微光光学计。黑色正方形是分光光度计本身的入口孔径。通过强度与波长来测量通过该光圈的光。正如人们通常在水上油这样的薄膜中看到的，结果是一种干涉模式，其峰位置由许多因素决定……包括膜的厚度。图2就是一个这样的示例。

图1。通过CRAIC Technologies微光照射器看到的集成电路

这三个反射光谱是沉积在硅基板上的三种不同厚度的二氧化硅膜的厚度。使用这些光谱，QDI FilmPro™软件然后使用许多复杂的算法对每个层的厚度进行建模。结果表明，红色光谱的厚度为10.1纳米，蓝色厚度为30.0纳米，绿色的绿色厚度为50.0纳米。相同的技术可用于通过多种类型的材料和底物的传输或反射率来测量膜厚度。欧洲杯足球竞彩由于CRAIC技术的灵活性薄膜厚度测量解决方案，采样区域的范围从100微米到亚微米。

此信息已从CRAIC技术提供的材料中采购，审查和调整。欧洲杯足球竞彩

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