使用Orion Plus氦离子显微镜在材料分析期间保持电荷平衡欧洲杯足球竞彩

显微镜用于材料研究中，以探索表面拓扑，材料界面，晶粒欧洲杯足球竞彩或混合相的子结构或各种处理技术的影响。因此，显微镜需要能够处理多种材料类型和表面特性。

带电粒子显微镜的挑战

许多技术上重要的材料高度绝缘。欧洲杯足球竞彩这是带电粒子显微镜的挑战。大电压很容易在样品上堆积，扭曲图像，破坏对比度并减少图像分辨率。

使用Orion Plus氦离子显微镜成像隔热样品

可以在氦离子显微镜中应用三种方法以形象隔热样品。首先是中和洪水枪。这在图像场周围提供了低能电子的弥散光束。这些电子被吸引到由离子束创建的正电荷区域中，因此保持自我调节电荷补偿。与半导体光刻所用的光掩膜的检查是电荷中和应用的一个例子。镀铬吸收器和高度绝缘石英底物的组合使得具有挑战性的系统。如下示例所示，Orion®Plus能够保持电荷平衡并产生清晰的图像。有关镀铬晶体结构，线边缘粗糙度以及镀铬Quartz界面的细节的重要信息均以高保真捕获。我们还可以了解到，右侧线更加孤立，这是因为它比邻居稍暗的事实所理解。

避免充电问题的另一种方法是通过Rutherford反向散射离子（RBI模式）的收集图像。在这种配置中，我们正在捕获高能量散射的氦颗粒，这些氦颗粒更容易受到表面电位的影响。欧洲杯猜球平台在研究薄膜太阳能电池的研究中可以看到一个例子，如下所示。通过将激光切割到玻璃基材上的激光对单个细胞进行图案。因此，电压对比度使得很难看到导电铝涂层和玻璃表面的细节，如图像蒙太奇的右侧所示。然而，左侧的RBI模式图像揭示了玻璃上的浅色或颗粒的多样性以及玻璃本身的拓扑细节。欧洲杯猜球平台

最后，对于某些样本类型，可以选择仅在Orion®Plus中使用低光束电流图像，这允许电荷消散。高氦诱导的二级电子产率允许使用亚皮杆菌束电流进行成像，这通常足以创建稳定的电荷态并因此稳定成像。

石英摄影（Chrome on Quartz PhotoMask）（由NIST的Mike Postek博士提供）

薄膜太阳能电池隔离切割（由德国哈勒的弗劳恩霍夫研究所的弗兰克·奥特曼博士提供）。

Orion Plus Capabilitites

电荷中和，卢瑟福反向散射成像

应用

成像绝缘样品

此信息已从卡尔·蔡司显微镜GmbH提供的材料中采购，审查和调整。欧洲杯足球竞彩

有关此消息来源的更多信息，请访问Carl Zeiss显微镜GmbH。