MFS 02快速流动传感器的优点和应用

特别是对于快速流量测量和电线粘结组件，开发了流动传感器MFS 02。由于膜系统，热质量降低至最小值。非常快的响应时间和低功耗是由于这种少量热量而导致的。

膜仅几微米厚，并由玻璃基板携带。因此，系统是强大的，并且可以轻松处理设备。

MFS 02流动传感器的优点

优势MFS 02流传感器包括：

• 快速响应时间
• 较小的质量流速
• 检测流动
• 低功耗
• 小热量
• 强大的设计
• 最佳价格绩效比率

MFS 02流动传感器的应用

• 医疗设备
• 家用螺旋计
• 差分压力传感器
• mikrofluidic（气）

MEMS制造过程–F O T U R A N

照片结构

最终传感器元素

MEMS制造过程 - 传感器结构

• 带有膜的玻璃基板的照片结构化玻璃基板
• 自旋涂料
• 溅射薄膜铂金
• 光刻掩码过程
• 基于离子的蚀刻过程
• RTD结构钝化

传感器应用 - 芯片布局和电路

• 不同的电阻布置和值，取决于流动应用
• 由于廉价的掩模流程，可以定制传感器

简单的电阻结构用于在CTA -MODE中使用

使用具有恒定电压或电流供应流动方向敏感的全桥

在CTA中用作全桥；流动方向敏感

传感器应用 - 向内传感器属性

简单的全桥热量计模式传感器电源3mA和大约2,5伏流速0.00 mln/min

简单的全桥量热计模式传感器供应3mA和约2,5伏流速200 mln/min

全桥热量计模式和CTA偏置传感器供应4mA和约3,5伏流速600毫升/分钟

传感器应用 - 测量属性

• 未放大标称灵敏度3MV/ mlnmin^-1在零跨点
• 通过全桥模式扩大物理流量范围，cTA偏置
• 加热器没有CTA偏置的冷静效果。
• 加热功率10MW至50MW
• 稳定的零跨点；独立于任何漂移效应，例如污染。

高流量CTA模式范围

传感器应用 - 组装可能性

• 易于使用和强大的传感器构造
• 通过安装在腔或孔中的PCB集成
• 通过电线粘合或焊接连接
• 流道的后场安装

• 传感器安装在单独的流通道中
• 用于PCB连接的电线键合流传感器
• 可能会选择传感器
• USB接口插入和播放模块

带线粘结传感器类型的示例MFS02与PCB上的ASIC一起。

该信息已从美国创新传感器技术提供的材料中采购，审查和改编。欧洲杯足球竞彩

有关此消息来源的更多信息，请访问创新传感器技术，美国部门。