基于三维计量系统的微流控器件分析

微流体技术越来越受到人们的关注。微流体设备能够控制非常小的液体量，并促进了生物技术中的几个新应用。这些器件包括用玻璃、硅或聚合物等材料制作的井、通道和控制结构(图1)。欧洲杯足球竞彩

Zeta-300自动化3D计量系统有助于成像和分析设备特征，包括以下:

• 透过透明层成像井。
• 测量尺寸从亚微米到毫米以上。
• 处理高粗糙度和低反射率表面。

图1所示。微流体器件的示意图。

竖直维度分析

下图显示了使用Zeta-300自动化3D计量系统完成的垂直尺寸分析:

图2显示了完全开放信道的Zeta图像

图2。齐塔的一个完全开放的频道。

图3显示了明渠的台阶高度分析。

图3。明渠台阶高度分析。

图4显示了具有透明盖板的通道的Zeta图像，显示了顶部、中间和底部表面。

图4。带有透明盖板的通道的Zeta图像，显示顶部、中间和底部表面。

图5为多表面图像分析结果:盖板厚度为93.4 μm，通道深度为59.2 μm。

图5。分析多表面图像，显示盖板厚度(93.4 μm)和通道深度(59.2 μm)。

横向维度分析

下图显示了使用Zeta-300自动化3D计量系统进行的横向尺寸分析:

图6显示了结构化微流控通道的分析，显示了两个相邻金字塔结构的高度。

图6。分析一个结构化的微流控通道，显示两个相邻金字塔结构的高度。

图7显示了覆盖槽附近的裸井结构的X和y维分析。孔的外径为505.4 μm，内径为310.5 μm，通道宽度为102.9 μm。

图7。覆盖槽旁的裸井结构的X和Y尺寸分析。

ζ- 300系统

Zeta-300自动化3D测量系统提供了复杂表面的真彩色成像，每个站点不到一分钟。

突出的特性

Zeta-300系统的特点是:

• 高亮度白色LED光源。
• 带200 x 200毫米行程的XY工作台。
• 垂直行程30mm。
• 多种FOV配置可用。
• 英特尔Core2双核处理器，3GB内存，320gb硬盘，宽屏液晶显示器。

光学规格

Zeta-300系统的光学规格如下表所示:

表1。Zeta-300系统的光学规格。

光学规格
	5倍	10倍	20 x	50 x	100 x
Z res(μm)	5.90	１．５０	0．50	0．10	0.07
附加说明	0．15	0．30	0.45	0．80	0．90
XY res(μm)	2.20	1．10	０．７５	0.42	０．４０
FOV 1(μm)	1920 x1440像素	960 x720	480年x360	192年x144	96年x72
FOV 2(μm)	5029年x3771	2514年x1886	1257年x943	503年x377	251年x189
准确度±2.5%重复性≤1.5%(1σ/均值)

ζ三维软件

Zeta 3D软件根据以下特点分析二维或三维图像:

• 阶梯高度。
• 表面粗糙度。
• 特征尺寸，直径，面积和体积。
• 透明特征的多表面分析。
• 表面3 d可视化。
• 统计数据。

Zeta-300的一般应用

Zeta-300可以用于以下应用:

• 多站点测量与统计。
• 食谱度量定义。
• 自动数据和图像导出。

图8。Zeta -300系统系列。

该信息已从KLA公司提供的材料中获取、审查和改编。欧洲杯足球竞彩

有关此来源的更多信息，请访问解放军的公司．