太阳能电池的三维计量分析

太阳能电池的性能取决于许多参数，如薄膜厚度、衬底结构、精确的触指形成和晶圆边缘质量。Zeta-200自动三维测量系统在不到1分钟的时间内为每个站点提供了复杂表面的真彩色分析和成像。专利和创新的ZDot技术可以测量几乎所有类型的表面，从高度光滑到高度粗糙。

太阳能电池工艺特性

单晶和多晶硅的织构表面积比

在晶圆表面蚀刻金字塔结构以提高太阳能电池的光吸收，如下面的Zeta 3D图像所示(图1)。视野中的金字塔是通过在晶圆上多个位置重复的序列进行分析和计数的。

图1所示。晶圆表面金字塔结构的Zeta三维图像及分析。

膜厚度测量

从30 nm到10 μ m的薄膜厚度可以用白光光谱仪测定，即使是在粗糙和有纹理的硅表面(图2)。

图2。用白光光谱仪测定薄膜厚度。

便捷边缘检测模块

为了从晶圆边缘去除导电区域，采用蚀刻或抛光工艺;然而，它们可能会造成损害。下面是晶圆边缘的Zeta 3D图像(图3)。右侧显示了晶圆边缘的几个截面，其中显示了粗糙度和形状。

图3。晶圆边缘的三维图像及相应的表征。

自动接触手指检测和检查

使用Zeta-200系统，可以使用高动态范围成像实现金属触指分析的自动化。

高动态范围成像的特点如下:

• 自动对焦可以检测晶圆表面。
• 模式识别能够确定金属模式并将其安排在图像中心。
• 菜谱定义的扫描参数可以控制垂直范围，并有助于调整照明，以适应极低反射率(氮化涂层)和高反射率(金属)表面。
• 分析软件自动确定各种截面的高度和宽度。
• 可选序列在晶圆片上重复测量。

ζ太阳能包

Zeta 3D软件对标准2D或3D晶圆图像进行一般表面表征，包括以下内容:

• 表面粗糙度。
• 特征尺寸，直径，面积和体积。
• 阶梯高度。
• 晶片弓。
• 膜厚度。
• 三维表面可视化在真彩色。
• 统计数据。

图4。Zeta 200系统系列(特写)。

配置

系统有以下几种配置:

• Zeta-20手动加载系统研发。
• 泽塔-200系统配有自动XY工作台。
• 可选的边缘测量夹具。
• 可选薄膜厚度测量。
• 真空吸盘适用于不同尺寸的硅片。
• 2纳米高度分辨率的压电工作台。

图5。ζ- 200系统系列。

定制的太阳能电池分析软件包括生产准备的配方，以实现基材纹理表征和接触手指检查。

该信息已从KLA公司提供的材料中获取、审查和改编。欧洲杯足球竞彩

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