重要的是，用于太阳能电池应用的硅基板满足精确的技术要求。在添加表面纹理时，采光效率得到提高，但是对于高质地的表面，会发生光散射，并且效率大大降低。需要高质量的钻石电线才能看到晶圆并获得高质量的成品。
KLA Tencor-200自动3D计量系统允许对关键属性的质量控制，这是：
- 从高度粗糙到高光滑的多个步骤的基材粗糙度。
- 锯子的周期性和高度。
- 边缘裂纹和其他缺陷。
- 晶圆弓。
- 锯线上的钻石特征的高度和密度。
硅晶圆检查
各种类型的硅晶片检查是：
边缘检查
图1显示了晶圆边缘的KLA tencor二维图像。长度标记分别为37 µm，垂直和水平分别为37 µm。
图1。晶圆边缘的kla tencor 2D图像。
晶圆弓
图2显示了基于25个地点的二维或三维测量的5英寸晶片的形状。
图2。基于2D和25个位点的3D测量值的5英寸晶片的形状测定。
阶跃高度
传入底物的KLA Tencor 2D和3D图像（图3）显示了SAW标记。光标之间的距离为1215 µm，光标之间的高度差为3.4 µm，单个凹槽的深度为2.3至3.0 µm。
图3。参考基板的KLA tencor 2d（顶部）和3D（底部）图像。
表面粗糙度
从表面粗糙度分析中获得的结果是，RA为0.95 µm，总计为0.57 µm，具有波动性校正（图4）。
图4。对测得的晶片的粗糙度分析结果。
钻石电线检查
图5显示了新钻石线的KLA腾腾3D图像和钻石颗粒的自动分析。欧洲杯猜球平台视野中的每个钻石都针对面积，体积和高度进行测量。
图5。KLA Tencor 3D新钻石线的图像和钻石颗粒的自动分析。欧洲杯猜球平台
光学规格
KLA Tencor 200系统的光学规格如下：
表格1。KLA Tencor-200系统的光学规格。
| 光学规格 |
|
5倍 |
10倍 |
20倍 |
50x |
100x |
| z res（μm） |
5.90 |
1.50 |
0.50 |
0.10 |
0.07 |
| N.A. |
0.15 |
0.30 |
0.45 |
0.80 |
0.90 |
| xy res（μm） |
2.20 |
1.10 |
0.75 |
0.42 |
0.40 |
| FOV 1（μm） |
1920x1440 |
960x720 |
480x360 |
192x144 |
96x72 |
| FOV 2（μm） |
5029x3771 |
2514x1886 |
1257x943 |
503x377 |
251x189 |
| 准确性±2.5％可重复性≤1.5％（1σ/平均值） |
KLA Tencor-200系统
KLA Tencor 200自动3D测量系统可以在每个站点不到一分钟的时间内对复杂表面进行真实的颜色成像。
KLA Tencor 3D软件研究以下参数的二维或三维图像：
- 阶跃高度。
- 表面粗糙度。
- 特征大小，直径，面积和体积。
- 透明特征的多表面分析。
- 3D表面可视化。
- 统计数据。
KLA Tencor-200的一般应用是：
- 具有统计数据的多站点测量。
- 基于配方的测量定义。
- 自动数据和图像导出。
KLA Tencor-200的功能包括以下内容：
- 高光泽白色LED光源。
- XY舞台200 x 200毫米旅行。
- 总垂直旅行30毫米。
- 有多个FOV配置可用。
图6。KLA Tencor-200系统系列。
该系统包括带有3GB RAM，320 GB磁盘和宽屏LCD显示器的Intel Core2 Duo处理器。
关于KLA Tencor仪器
KLA Tencor Instruments是精确的微观结构和表面测量系统的领先提供商，使绿色技术和生物医学产品的制造商可实质上提高产量和质量控制。KLA Tencor高级计量解决方案为高光泽LED，太阳能电池，微荧光学/生物技术和磁性储存介质的生产提供了直接的好处。获得专利的Z-DOT™技术使制造商能够快速，准确地对这些应用程序的微观尺度特征进行3D测量，从而将KLA Tencor定位为这些高增长行业的战略供应商。
KLA Tencor工具的计量解决方案非常适合解决这些行业面临的衡量挑战：
此信息已从KLA Corporation提供的材料中采购，审查和调整。欧洲杯足球竞彩
有关此消息来源的更多信息，请访问KLA公司。