用于半导体工业的精密感应加热

由于新能源效率行业的需求开始增长,半导体供应商的机会是巨大的。尽管如此,供应商在尝试增加晶片,半导体行业原料和成品的产出过程中面临挑战。欧洲杯足球竞彩精密控制加热是生产原料或晶片晶体以及最终半导体产物的关键操作。欧洲杯足球竞彩

来自Ambrell的高级感应加热增加了晶体生长和晶圆生产过程的更可靠性,精度和成本效益等优势。Ambrell的EKOHEAT与电阻加热相比,产品专门为半导体应用而特别设计用于半导体应用。该公司的非接触式电磁加热技术可节省能源,同时提高生产率,提供优质的半导体产品。

感应加热创新-优势

感应技术是无毛的导电材料的过程。欧洲杯足球竞彩快速清洁的方法电磁地产生所需的热量以提供高度控制的晶体生长环境。交流电流通过围绕坩埚的感应线圈。当涡流在坩埚的电阻率内流动时产生热量。质量的加热以无与伦比的均匀性完成,而线圈保持冷却。

流程集成

Ambrell在进行先进的研究和开发,提供创新的生产解决方案方面有着良好的记录。公司拥有20多项技术专利,是公认的固态感应加热领域的关键厂商。其EKOHEAT解决方案帮助晶体生长系统操作员实现对加热过程的精确控制,使熔融质量温度的严格调节。其清洁和严格的方法,在不同的环境下加热,促进生长的优质晶体。

EKOHEAT Ambrell。

EKOHEAT Ambrell。

EKOHEAT设计不仅允许细致的调节输出功率在交流线路电压在360和520 V之间,而且调节2%和100%的全功率之间的输出控制。这在冷却和加热过程中控制温度,从而确保更多地利用Boule。准确的,频率灵活的调整不仅提供所需的精确程度的功率,以在变化的负载条件下优化质量,而且精确的变化的过程或设置变化。

Ekoheat诱导加热系统可以轻松快速地集成到现有的生产过程中。这不仅减少了停机时间或修改当前的设置,还提供了一个创新和更有效的加热过程。他们是自动化准备和功能全模拟和数字I/O面板。它们可以根据客户的业务需求进行定制。除了提供一个很小的和最低限度的干扰内存占用之外,如果流程是远程的,它们还提供外部工作头。用户使用的仪器可以很容易地安装在内置的110或220 Vac方便插座中。

与电阻加热技术相比,感应加热可节省相当大的节能,因为它专门集中在材料中。欧洲杯足球竞彩此外,由于其可靠性和一致性,它会降低缺陷率和相关成本。Ambrell的0.92功率因数进一步节省了能源费用,更短的加热周期提高生产率,并诱导的目标加热净化炉子斜坡的成本。此外,由于降低的冷却要求,水成本降低。

Ambrell为客户指派一个专门的感应加热专家团队,为其离散或连续生产过程设计定制的解决方案。该公司将把其公认的感应加热电源系统应用到客户的过程中。其服务部门准备提供预防性维修和及时的应急支持。

好处

Ambrell创新 对客户的好处
外部或内坦克电路的选择 外部罐减少洁净室空间,内部坦克
电源控制使用4-20 mA输入 通过控制功率在2%到100%之间,促进优越的晶体生长
快速及时的充分动力 消除了在短时间断电后必须报废的Boule,从而提高晶体质量和减少浪费
具有数字显示的用户友好的操作员界面 通过清晰的读数减少操作员误差,从而提高水晶质量
频率敏捷设计具有更一致的电源 更好的晶体,更少的缺陷
易于转换系统,以兼容各种大小的坩埚和线圈 降低取暖费用,提高生产效率
通过单独线圈的多区域加热 允许区域细化和精确控制温度梯度,以更好的水晶质量
操作员预设加热配置文件启用固定流程的重放 最小的设置时间和提高生产力
比其他感应加热器更少的组件 改进了更大的时间,更少的部分失败,较低的部分库存和最终降低维护费用
隔离高压输出到2500v 当高电感线圈被有效地供电时,可以拉出更大的晶体

该信息已采购,从Ambrell感应加热溶液提供的材料进行审查和调整。欧洲杯足球竞彩

有关此来源的更多信息,请访问Ambrell感应加热解决方案。

引用

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    Ambrell感应加热解决方案。(2019年10月16日)。半导体工业精密感应加热。AZoM。从6月24日,2021年6月24日从//www.wireless-io.com/article.aspx?articled=8052中检索。

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    Ambrell感应加热解决方案。半导体行业的精密感应加热。AZoM.2021年6月24日。< //www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=8052 >。

  • 芝加哥

    Ambrell感应加热解决方案。半导体行业的精密感应加热。AZoM。//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=8052。(访问2021年6月24日)。

  • 哈佛大学

    Ambrell感应加热解决方案。2019年。用于半导体工业的精密感应加热.AZoM, 2021年6月24日观看,//www.wireless-io.com/article.aspx?ArticleID=8052。

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