喷溅是众所周知的物理气相沉积(PVD)方法在多个产品应用中找到用途。虽然商用溅射系统是为大规模生产经验证的工艺而设计的，但在灵活性通常比批量吞吐量更重要的研究和开发目的中，需要较小规模的溅射系统。
此外，较小的溅射系统也可用于较小的初始生产。本文介绍了用于低体积工作(如研究和开发)的小型溅射系统的特点和功能，特别是在圆形旋转基板工作台的周长周围使用多个目标的共焦配置。
更小的实验室占地面积和更低的成本是小室尺寸的关键优势。此外，小圆形阴极对目标材料的投资较少。欧洲杯足球竞彩商业上可得到的较小的圆形阴极通常在目标上有一个夹具，从而使目标材料的快速和容易的变化。欧洲杯足球竞彩这反过来又使得拥有和使用许多不同材料的目标来促进许多方面的开发工作成为可能。欧洲杯足球竞彩
小型溅射系统的配置
这样一个较小的溅射系统可以很容易地配置在任何期望的方向上，用于水平溅射、向上溅射或向下溅射。这种完整的三轴能力能够利用任何所需的泵送配置，如涡轮或cryo。此外，一个简单的单室可用于完全通风的装载和卸载，或与手动或机械化转移臂负载锁一起使用。
最佳通用性的一个关键配置方面是旋转基板级，其中心位于阴极环内，阴极环在共焦配置中向其倾斜。该配置使每个阴极在旋转时能够在整个级表面上提供足够的沉积覆盖，从而在基板上提供可接受的均匀性。使用足够的电源和控制装置，可以单独或两个（或多个）同时点燃这些阴极进行共沉积。
可以使用任意数量和所需类型的阴极电源，如脉冲直流、射频或直流。这些电源比较便宜，因为它们比大容量设备中使用的电源要小。此外，较低功率阴极降低了对此类设施支持的需求，如所需的总冷却水或所需的电力。2020欧洲杯下注官网
在气体系统中可以包括多个气体通道，这是反应溅射所需要的，并且可以根据需要增加上游或下游的压力控制。
另一个可以扩展实验和工艺开发的通用性的方面是基片级温度能力，通常是级加热器;然而，它也有可能有一些冷却，虽然有点多。它也可以执行可选的事情，如衬底偏压和特征，如离子束或溅射蚀刻。
可以以较低的成本固定阴极的数量、位置和方向，或者具有一定程度的机械调节能力，如距离或角度。显然，添加多个阴极将导致更大的腔室，并且添加每个阴极或电源或其他上述特征涉及一些成本因素。
然而，如果有必要具备这些功能，那么无论是在更大的系统中还是在更小的平台中，都需要包含这些功能。总的来说，任何可以包含在大型系统中的功能都可以添加到小型系统中。
结论
在较小的溅射系统中增加功能所涉及的成本肯定会低于较大的、更高吞吐量的系统。因此，与在大学实验室或商业设施中配置用于开发工作的溅射系统的其他方法相比，较小的腔室、共焦阴极阵列方法仍然是一种可行的方法，以较低的成本具有所有所需的特性。
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