离子注入这是一个复杂而敏感的过程，用于半导体制造。为了成功运行，光束纯度和工艺稳定性非常重要。在这里，石墨和难熔金属零件起着关键作用。总的来说，当使用更高质量的材料和工艺专用合金替代传统材料时，可以降低维护系统的总成本。欧洲杯足球竞彩
在我在植入过程中，掺杂离子被加速并注入单晶硅衬底中，以操纵其体特性。砷、硼、磷、锗和锗是一些典型的掺杂材料。欧洲杯足球竞彩
离子束的方向、能量和均匀性必须可在多次工艺变化中重复，即使连续运行数小时也不应改变。部件形状和材料特性影响工艺稳定性和寿命。这意味着，组件保持其形状和材料特性的时间越长，过程就越稳定和可重复。
在注入机系统中，许多部件与离子束和工艺气体保持长时间接触。然而，系统内强大的化学和机电力可促进组件材料沿束线的再沉积、侵蚀和运输。当材料从此类部件中丢失时，可能会影响工艺精度并导致设备故障。这样的事件可能会给高产量的工厂带来数千美元的损失。2020欧洲杯下注官网欧洲杯足球竞彩
石墨和难熔金属
欧洲杯足球竞彩石墨和难熔金属等材料主要用于离子注入束线。这些材料的热、化学、电气和机械性能对于提高系统的使用寿命至关重要。
必须熟悉这些材料特性，以便为每个更换零件选择正确的材料。材料专家欧洲杯足球竞彩普朗西在难熔金属领域拥有90多年的专业知识，在石墨和离子注入工艺方面拥有30多年的经验。PLANSEE增强了OEM零件的设计和使用的材料。欧洲杯足球竞彩
三种石墨质量等级
为了满足阴离子注入机的不同需求，PLANSEE提供了三种不同但完全匹配的质量等级。这些石墨质量等级包括孔径石墨、纯结构石墨和特种石墨。这些材料的硬度、强度和粒度不同。欧洲杯足球竞彩
纯结构石墨的粒径为5-10μm，在正常操作条件下，当光束不会接触材料时，可使用。例如，它用于安装框架和盖。
孔径石墨的粒度约为5µm，主要用于孔径。它比纯结构石墨硬度和强度高50%。孔径石墨也是均匀的。在材料损耗不可避免的应用中，这种石墨的均匀性确保了与纯结构石墨相比，这种损耗更加均匀。
特种石墨具有1-2µm的超细颗粒尺寸，并且具有优异的均匀性。这种材料比孔径石墨硬50%左右，强度高，用于提取光学和质量分辨率应用。
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图1。带有高质量石墨插入件的平面孔
除了硬度、强度和粒度不同外，这些石墨质量等级在电气、化学和机械性能方面也不同。某些特殊石墨表面光滑，具有良好的导电性。它们可以减少萃取孔系统中的毛刺效应，还可以确保离子源中的温度均匀分布。所有三种石墨质量等级都具有高纯度。
石墨的结合节省了成本
只有少数石墨植入器部件供应商符合PLANSEE严格的质量要求。PLANSEE在处理离子注入等敏感工艺时确保透明度，并明确定义用于哪个组件的材料。
PLANSEE依靠石墨的组合来节省成本并向客户提供高质量的产品。例如，标准质量的石墨用于外围部件，而优质石墨用于最敏感的部件。
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图2。Thomas Werninghaus博士展示了PLANSEE高级标准单安装G2光圈。
PLANSEE在石墨特性方面的丰富经验证明在工程和制造领域非常有用，在这些领域可以生产最复杂的几何形状，或者可以简化复杂的多零件装配，以便于安装和降低部件成本。
卤素循环
PLANSEE的一个研究团队还开发了新的合金和复合材料，以提高组件寿命和植入器性能。许多PLANSEE客户正在使用一种称为氧化钨镧（欧洲杯足球竞彩WL）的特殊复合材料来减少离子源中卤素循环的影响。
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图3。带WL的离子源室
结论
PLANSEE开发了一系列替代零件，包括石墨、钼、钨、钽和陶瓷，用于离子注入以及其他半导体应用。PLANSEE提供了创新的解决方案，有助于延长系统的使用寿命，简化操作，降低维护成本。
本信息来源于PLANSEE提供的材料，经过审查和改编。欧洲杯足球竞彩
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