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原子层沉积：原理，特征和纳米技术应用，第二版

原子层沉积：原理，特征和纳米技术应用，第二版

自2008年第一版出版以来，原子层沉积（ALD）已成为一种强大的，有时是首选的沉积技术。

此开创性专着的新版本是第一个从实际角度全面回顾ALD主题的文本。它涵盖了ALD对微电子（MEMS）和纳米技术的应用；许多重要的新应用和新兴应用程序；半导体，氧化物，金属和硝酸盐的纳米厚膜ALD生长的热过程；以及有机和杂种材料的形成。欧洲杯足球竞彩

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