工程师已经创建了一个小型电炉温度可以达到1100°C (2012°F)以上,独立的“实验室”中没有孩子的鞋大。 micro-hotplates只是几十个微米(大约一根头发的宽度),但可以作为基质,加热器和导体薄膜实验从材料分析的发展先进的传感器。 研究人员在波士顿微系统公司工艺碳化硅的电炉,一个健壮的材料,可以忍受酷热,达到峰值温度在不到1000秒。 碳化硅不仅是在高温下稳定,它也不受化学侵蚀与大多数材料。欧洲杯足球竞彩结果,可仅通过电炉净化燃烧的碎片的表面。 包含在一个微芯片,微小的“实验室”驻留在可以忍受的聚碳酸酯室接近真空的压力。港口室的面让气体通过和喂养实验,和由于室的透明度,研究人员可以用显微镜观察试验进展。 电炉还包含一个集成的温度测量和一对电极。这些组件允许研究人员测试各种材料的电性质可能沉积在电炉。欧洲杯足球竞彩 使用稳定,薄膜沉积特性和电炉的集成电路,研究人员已经开发应用,如氧气和引擎发射传感器。传感器可能有几个优势设备在当今内燃机,由于micro-hotplate的化学稳定性,体积小,快速反应和低功耗。
制作所需的技术和优化这些微机电系统(MEMS)是在美国国家科学基金会的支持下开发的小企业创新研究(SBIR)计划和SBIR项目的能源,环境保护署和美国国家航空航天局。欧洲杯线上买球 从研究人员评论: “高温碳化硅micro-hotplates新研究团体和可能是灵活的工具,光学、化学蒸汽沉积室,微反应和其他应用程序。”——里克•Mlcak波士顿微系统。 “micro-hotplate数组是多才多艺的研究工具相同的基本系统可以适应处理等不同的实验分析热处理和新型薄膜材料的表征。欧洲杯足球竞彩”——里克•Mlcak波士顿微系统。 NSF的评论: “建议的氧传感器在汽车排放的描述可能会发现应用程序和控制的氧化和还原反应陶瓷和冶金处理。”- - -温斯洛Sargeant NSF SBIR项目官员负责波士顿微系统公司奖。 “异常的小尺寸和低功耗micro-hotplate氧气传感器使其特别适合于便携式仪表、监控的危险环境中,感觉到呼吸和生物过程,oxygen-sensitive工业过程的控制,和食品的包装和监控。”——温斯洛Sargeant。 |