AXIS Nova -自动化,高规格XPS

来自Kratos分析的轴Nova是一种高度自动化的X射线光电子光谱仪,具有挑战性研究应用所需的无妥善光谱性能。

AXIS Nova占地极为紧凑,并采用了市场领先的AXIS技术,包括磁浸透镜、同轴电荷中和、延迟线光电子检测和完全自动化的样品处理。

AXIS Nova的能力

高分辨率光谱和选定区域光谱

在光谱模式下,大半径半球扇形分析仪保证了高的能量分辨率和高的灵敏度。小光斑光谱学是通过在静电透镜柱中插入一个孔径来实现的;在表面形成一个虚拟探针。

使用这种方法进行小面积分析,消除了与微聚焦x射线源相关的样品充电和x射线诱导降解问题。从透镜视场内的任何一点,都可以从直径为15 μ m的区域获得小光斑光谱。

使用一种独特的静电偏转系统,虚拟探针的位置可以在样品表面发生偏转。可以通过简单的鼠标点击平行光电子图像来确定获取小光斑光谱的位置,而不需要平移样品。或者,样品的高分辨率原位光学显微镜图像可以直接确定XPS分析位置。

AXIS Nova上的x射线源是基于一个大的500毫米罗兰圆几何形状;保证了聚焦x射线光斑的能量色散比基于更小罗兰圆的系统更小。这确保了最高的能量分辨率,如FWHM <0.48 eV Ag 3d所示。

为了使X射线点与分析位置对准的易于对准,AlKαX射线由单个环形底板单色。设计X射线阳极以允许阳极表面相对于阴极的移动。该新的阳极表面可以根据需要暴露,而不会破坏真空。随着10个阳极位置的可用性,阳极的有用寿命显着增加。

定量并行成像

Kratos专利球面镜分析仪(SMA)允许实时获取光电子图像,通过表面光学检查不可见的元素或化学差异可以迅速对准分析位置。SMA的特性意味着用该分析仪获得的图像具有较高的能量和横向分辨率。将其与脉冲计数延迟线检测器相结合,可以从样品的最上面表面生成真正定量的化学状态信息。并行图像采集的速度提供了明显的优势,减少了对精细样品的x射线曝光。在最高的图像放大倍数3mm的空间分辨率是有保证的。

电子触点的基本图像

离子源

轴NOVA可以配置有高通量模块ar+离子源或更通用的ARN +气体聚类离子源(GCIS)。两个离子源都通过逃生软件完全集成并核对,为深度分析和样品清洁提供易于使用的用户界面。

单原子的基于“增大化现实”技术+离子源(Minibeam 4)的束流能量在4kev到50ev之间不断变化。用于中性抑制的弯曲,以及在浮动模式下工作的潜力,在低离子能量下产生高电流密度,都被精密离子柱所包含,从而提高界面分辨率和快速蚀刻速率,即使在低离子加速电压下。

Minibeam 6 ARN+GCIS允许选择500至3000个原子之间的平均聚类大小。簇离子可以加速至最大20keV,使得每次原子或隔离能量的能量可以不同于<2eV(5kev,AR3000.+)至40 eV (20 keV, Ar500+)。对簇参数的控制意味着可以选择理想的组合以溅射的材料。10 kev ar.3000.+大,低能量团簇是理想的溅射深度剖面有机材料和多层,同时20kev的Ar1000+小的,高能团簇用于无机材料的溅射剖面,在整个剖面中保留化学成分。欧洲杯足球竞彩

GCIS也可以在Monatomic AR中运行+金属或无机材料的深度剖面模式。欧洲杯足球竞彩它也可以用来生成He+用于离子散射光谱的主要离子(ISS)完成其多模功能。

充电中和

轴新星电荷中和器是建立在市场领先的技术,用于250多个AXIS光谱仪。与其他需要额外Ar源的中和系统相比,磁透镜场内同轴低能量电子源的使用保证了在绝缘样品分析过程中光谱仪的最终基底压力得以保持+离子。

Kratos中和剂的设计得到了显著改进,以确保系统能够自我调节,并能在各种绝缘材料(包括纤维、薄膜和粉末)上高效工作。欧洲杯足球竞彩当与单色x射线源一起使用时,可以从电绝缘材料中产生具有无与伦比的能量分辨率的光谱,数据显示聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)的酯组分的半宽值(FWHM) <0.68 eV。欧洲杯足球竞彩

延迟线探测器

随着延迟线探测器(DLD)的推出,克瑞托斯分析公司在成像x射线光电子能谱仪的开发上保持了领先地位。DLD代表了下一代光电子探测器;提供了一个单一的脉冲计数探测器的成像和光谱实验。DLD占据了AXIS新星的心脏;由位于两个正交延迟线阳极之上的多通道板堆和相关的电子控制单元组成。DLD具有较大的光电子探测面积,由128个光电子通道组成。通道数量的增加,意味着光谱仪除了可以在常规能量扫描方式下收集光电子外,还可以在不扫描分析仪的情况下进一步采集128个数据点的光谱;这个过程也称为“快照”光谱学。这种模式能够在不到1秒的时间内收集单个光电子峰,为动态表面表征或深度剖面期间的数据采集提供了明显的优势。

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当在并行成像模式中使用时,带有2D空间分布的光电子在DLD上入射。两个延迟线阳极中的每一个上的电子到达位置由快速DLD控制电子设备转换为每个电子事件的X,Y坐标。结合几秒钟的信号使得能够在65,500像素阵列上产生表面的真正定量化学或元素图像。在最高放大率成像模式中,表面的空间分辨率<3μm。数字DLD技术的一个主要优势在于系统具有固有的低噪声特性,并确保了尖峰免疫力。

样品处理及自动化

AXIS Nova样品处理和平台导航系统结合了原位光学显微镜和采集软件,快速,容易定义样品分析位置。它可以将全压板(110毫米直径视场)和高放大倍数(2毫米视场)的光学图像保存到实验文件中,并召回用于样品定位。用户可借助大观察口在分析室内看到压板;提供样品位置的完全可信度。

最多3个大样品压板可以装载到样品入口室中的电梯上。自动多压纸交换允许从入口室的压板转移到没有用户干预的分析位置。超过285厘米2可用于安装轴NOVA的样品,为无与伦比的样品吞吐量提供范围。

提供具体的样品压板以相对于角度已解决的XPS倾斜样本,从而可以使用数据从最上面的10nm重建浓度深度轮廓。还提供了压板,以允许在溅射深度分析期间绕垂直轴旋转。

总之

AXIS Nova是一款自动化的、最先进的光谱仪,采用了市场领先的AXIS技术,包括磁浸透镜、同轴电荷中和、延迟线光电子检测和完全自动化的样品处理。优秀的灵敏度和分辨率的光谱模式是由快速XPS成像和选定的区域,小光斑光谱学。

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