这Uvisel Plus为先进的薄膜，表面和接口表征提供模块化和性能的最佳组合。
UVISEL Plus包括FastAcq，使用双调制与新的电子，数据处理，高速单色仪，测量更快，更准确比以往任何时候。从190 nm到2100 nm的高分辨率测量在3分钟内完成。
凭借其高频相位调制技术（50 kHz），市场上最高，UVISEL Plus从190到2100nm提供高质量数据，提供高精度，高分辨率和无与伦比的信噪比。
UVisel Plus比使用旋转元件的任何常规椭偏针实现更高的灵敏度和精度。它能够表征非常薄膜或界面，即没有其他椭偏针可以看到以及厚层的表征高达50μm。
UVisel Plus是光伏，微电子，光电子，光学涂料，纳米技术，平板显示，生物化学，冶金作为台式计量工具等应用的理想工具，以及在工艺室和轧制机上的原位集成
主要特征
UVisel Plus光谱椭圆仪的产品特征是：
- 最高的准确性和灵敏度
- 用于前地，原位和滚动卷应用的模块化设计
- 光谱范围从190到2100纳米
- 完全集成的软件包，用于建模，测量和自动操作
获得信息
Uvisel Plus光谱椭偏仪提供:
- 薄膜厚度范围在1Å和50μm之间
- 表面和界面粗糙度
- 各向同性、各向异性和梯度薄膜的光学常数(n,k)
- 导出光学数据，如光学带隙Eg，吸收系数a (alpha)
- 材料性能:复合合金成分、孔隙度、形貌、结晶度等
- 去极化
- 穆勒矩阵