来自Dynavac的精密光学涂层系统每年定期提供一致的结果。Dynavac系统正在全球范围内使用,处理具有高可靠性和性能的最先进的光学涂层挑战。
系统提供了许多尺寸,并提供各种过程选项。可以选择从行星机构,单次旋转或定制固定固定装置中选择,以获得最佳的吞吐量和均匀性。来自Dynavac的Spectrum Pro光学监视器系列在光学涂层的终点检测中提供了一种新的水平。
主要特点
精密光学涂层系统的主要特点是:
- 系统的范围为30“至120”
- 溅射和蒸发有各种过程选项
- 采用行星机构,单旋转或定制工程工具
- 基于LabVIEW的HMI监控系统
- 流程开发支持可用
- 单波长和宽带光学监测系统
- 服务支持和全局安装