的奥德赛450沉积系统来自Dynavac的小型薄膜生产具有优秀的质量结果的大型复杂系统。底座系统包括抽气系统、真空室和自动控制系统。
一个全面的选项包提供了广泛的工艺设备，以支持最具挑战性的应用。2020欧洲杯下注官网Odyssey是Dynavac完整资源平台的一部分，为客户提供从初始到日常运营的支持。
关键特性
奥德赛450沉积系统的主要特点是:
- 是否配备450 × 650毫米真空室
- 有涡轮分子泵或低温泵吗
- 广泛的溅射，蒸发和工艺支持选项
- 单旋转工具或行星机构
- Dynavac基于labview的监控系统
- 光学监控
- 灵活的设计支持为将来的应用程序重新使用工具
- 全球支持与服务