薄膜沉积光学监测系统 - Dynavac Spectrum-Pro

Dynavac的光谱 - Pro光学监测系统是一种有价值的工具,用于生产具有高精度的复合物,可重复涂层。将其作为精密光学光度计的能力与石英晶体沉积控制器的强度相结合,在光学涂层的终点检测中提供了一种新的水平。当集成到Dynavac控制系统中时,Spectrum Pro为完整的过程和系统控制提供单个用户界面。

主要特征

  • 容易集成到现有的涂层系统中
  • 能够反射,透射率或直接监测
  • 光学器件可以为几乎任何波长或真空室配置定制
  • 高级光学端点检测允许完整,分数和绝对层终止
  • 食谱可以直接从所有主要涂层设计包上下载
  • 可提供多种选项和升级

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