这SC 1500内联溅射系统提供模块化，经济效益和可扩展的设计，以满足高批量或试验生产的要求。负载锁具有多个托盘处理，用于连续提示到尾部处理，使目标利用率和最佳吞吐量能够实现。
主要特征
关键特征SC1500内联溅射系统是：
- 可以在没有昂贵的重新降序的情况下处理许多尺寸和形状基板
- 为单侧或双面溅射沉积提供线性磁控管阴极
- RF，DC，脉冲直流溅射能力
- 反应性溅射是可能的
- RF基板蚀刻/预清洁
- 低温或涡轮增压器高真空泵包装
- HMI“人机界面”包括配方控制，数据记录，历史趋势，公差检查，用户级访问，SEC / GEM界面