SC 1500内联溅射系统来自Semichore

SC 1500内联溅射系统提供模块化,经济效益和可扩展的设计,以满足高批量或试验生产的要求。负载锁具有多个托盘处理,用于连续提示到尾部处理,使目标利用率和最佳吞吐量能够实现。

主要特征

关键特征SC1500内联溅射系统是:

  • 可以在没有昂贵的重新降序的情况下处理许多尺寸和形状基板
  • 为单侧或双面溅射沉积提供线性磁控管阴极
  • RF,DC,脉冲直流溅射能力
  • 反应性溅射是可能的
  • RF基板蚀刻/预清洁
  • 低温或涡轮增压器高真空泵包装
  • HMI“人机界面”包括配方控制,数据记录,历史趋势,公差检查,用户级访问,SEC / GEM界面

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