SC3500来自Semichore的蒸发系统

这SC3500蒸发系统从半采用不锈钢制成，是水冷处理室，带有摆动开口门门。高度为60英寸，直径为40英寸。它包括低温真空包装。

主要特征

关键特征SC3500蒸发系统是：

• 具有配方控制和数据记录的集成沉积速率或过程控制器
• 具有多袋电子束蒸发源，用于顺序或共蒸发
• 包括用于离子束辅助沉积（IBAD）和基板预清洁的离子源
• 可以是旋转/倾斜支架的定制或标准衬底夹具，光驱，剥离圆顶或任何其他
• 包括IR衬底加热器阵列，可达450°C