的Triaxis溅射系统是由工程人才在Semicore,硅谷的制造商。它为光学、电子、太阳能、汽车、医疗、航空航天、军事和其他高科技行业使用的混合基材和材料提供一系列精确的涂层。欧洲杯足球竞彩的Tri-Axis溅射系统是首个高性价比的开放式平台设计，适用于精密研发和小批量生产。它提供自定义格式和许多标准选项。
关键特性
的主要特点Triaxis溅射系统是:
- 真空室- 304不锈钢圆柱室，典型尺寸范围18或24英寸直径-缩放以匹配特定的应用
- 泵浦-涡轮分子或低温
- 负载锁定-手动或自动转移，高真空度抽吸。可容纳各种形状和大小的小样品或直径达200毫米的单一基板。
- 过程控制-基于PC/ plc的过程自动化，图形用户界面，配方控制，数据记录和远程电子支持
- 现场监测与控制——石英晶体监测、光学监测、残余气体分析仪等现场测量与过程控制
- 基板夹具-单个，多个，行星或自定义基板夹具
- 基材支架-加热、冷却或偏置、旋转基材支架
- 离子源:衬底预清洗辅助沉积，表面纳米级改性
- 三轴沉积技术-磁控溅射，射频，直流或脉冲直流，电子束蒸发，热蒸发，有机蒸发OLED/ PLED和有机电子学，扫瞄角沉积(GLAD)，阴极弧等离子体沉积，脉冲激光沉积(PLD)