的三轴电子束蒸发系统包括一个304不锈钢圆柱形腔室，典型尺寸范围18或24英寸直径和缩放，以匹配特定的应用。泵浦是低温或涡轮分子。负载锁定包括自动或手动转移和高真空泵。它可以容纳许多形状和大小的小样本。基于PLC/ pc的过程自动化通过图形用户界面、数据记录、配方控制和远程电子支持实现。
关键特性
的主要特点蒸发系统是:
- 现场监控:石英晶体监控、光学监控、残留气体分析仪等现场测量和过程控制
- 基板夹具:单个、多个、行星或自定义基板夹具
- 基材支架:加热、冷却或偏置、旋转基材支架
- 离子来源:基材预清洗辅助沉积，表面纳米级改性
- 三轴沉积技术:电子束蒸发、热蒸发、有机蒸发OLED/PLED和有机电子学、阴极电弧等离子体沉积