Phenom World的电动倾斜旋转SEM样品架

每个样本都有自己的具体要求。一些样品的形状需要灵活的操作以获得最佳成像结果。样品可以包含线条,孔,多层结构或其他特定特征。为了获得这些特征的最佳图像,操作员需要定位样品,使得对检测器的开口角度进行优化。这电动倾斜和旋转样品架提供通过倾斜和旋转样品来成像这些特征的解决方案。

电动倾斜和旋转样品支架通过专用的Pro Suite软件应用来控制。计算机控制的操作能够实现智能旋转和倾斜运动。

通过在运动控制软件中的经链接旋转功能,这会自动发生。倾斜功能会导致工作距离和物理y位置的变化。伪eUCEntric倾斜功能通过调整焦距来自动校正Z高度。Phenom阶段的Y位置是同时校正的,该动作控制软件驱动具有这些自动化样本操纵能力,可以以直观和方便的方式在任何样本上映像任何特征。

电动倾斜和旋转的组合引入了一种新的,广泛的样本分析选项:

  • 使用+/- 5°倾斜创建3D图像是获得令人惊叹的3D图像的最快方式
  • 制定的精确倾斜是强制性的,以获得定量的3D结果
  • 现在可以在REACH中收集3D数据,而alpion x和y函数有助于只需两个鼠标点击即可对齐您的功能。

电动倾斜和旋转样品架是所谓的智能样品架,没有连接的电缆。样品保持器接口板自动识别样品架类型,并将直接将任务转移到支架。此功能完全符合创建易于使用和直观产品的众所周知的知名哲学。

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